(2012). Advances in CMP/polishing technologies for the manufacture of electronic devices. William Andrew.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Advances in CMP/polishing Technologies for the Manufacture of Electronic Devices. Oxford: William Andrew, 2012.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Advances in CMP/polishing Technologies for the Manufacture of Electronic Devices. William Andrew, 2012.
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