Gatzen, H. H., Saile, V., & Leuthold, J. (2015). Micro and nano fabrication: Tools and processes. Springer.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Gatzen, Hans Heinrich, Volker Saile, und Juerg Leuthold. Micro and Nano Fabrication: Tools and Processes. Berlin [und 4 weitere]: Springer, 2015.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Gatzen, Hans Heinrich, et al. Micro and Nano Fabrication: Tools and Processes. Springer, 2015.
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