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Baumann, J. (2004). Herstellung, Charakterisierung und Bewertung von leitfähigen Diffusionsbarrieren auf Basis von Ta, Ti und W für die Kupfermetallisierung von Siliciumschaltkreisen. Shaker.

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Baumann, Jens. Herstellung, Charakterisierung Und Bewertung Von Leitfähigen Diffusionsbarrieren Auf Basis Von Ta, Ti Und W Für Die Kupfermetallisierung Von Siliciumschaltkreisen. Aachen: Shaker, 2004.

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Baumann, Jens. Herstellung, Charakterisierung Und Bewertung Von Leitfähigen Diffusionsbarrieren Auf Basis Von Ta, Ti Und W Für Die Kupfermetallisierung Von Siliciumschaltkreisen. Shaker, 2004.