Siliziumbasierte resonante Wellenleitergitter für rauscharme interferometrische Resonatorkomponenten:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
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| Veröffentlicht: |
2014
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| Beschreibung: | 111, VI Bl. Ill., graph.Darst 29,5 cm |
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| adam_text | INHALTSVERZEICHNIS
EINLEITUNG 3
1 ANALYSE REFLEKTIVER OPTISCHER KOMPONENTEN IN
GRAVITATIONSWELLENDETEKTOREN 5
1.1 GRAVITATIONSWELLEN UND DEREN DETEKTION 5
1.2 THERMISCHES RAUSCHEN OPTISCHER KOMPONENTEN 8
1.2.1 BROWNSCHES THERMISCHES RAUSCHEN 10
1.2.2 THERMO-REFRAKTIVES UND THERMO-ELASTISCHES RAUSCHEN 13
1.3 ANSAETZE ZUR OPTIMIERUNG OPTISCHER KOMPONENTEN IN GRAVITATIONSWELLEN
DETEKTOREN 15
1.3.1 OPTIMIERTE AMORPHE VIELSCHICHTSYSTEME 15
1.3.2 KRISTALLINE VIELSCHICHTSYSTEME 16
1.3.3 KHALILI-ETALON 17
1.3.4 ECKREFLEKTOREN 18
1.3.5 RESONANTE WELLENLEITERGITTER 18
1.3.6 REFLEKTIVE RESONATORKOPPLER 20
2 RESONANTE WELLENLEITERGITTER ALS HOCHEFFIZIENTE REFLEKTOREN 23
2.1 FUNKTIONSWEISE RESONANTER WELLENLEITERGITTER 24
2.1.1 REFLEXION DURCH RESONANTE ANREGUNG VON LECKWELLENLEITERMODEN . 25
2.1.2 REFLEXION DURCH MULTIMODEN-FABRY-PEROT-RESONATOR 28
2.2 OPTISCHE EIGENSCHAFTEN RESONANTER GITTER MIT HOHEM INDEXKONTRAST ...
34
2.2.1 WINKELTOLERANZ RESONANTER WELLENLEITERGITTER 34
2.2.2 SPEKTRALE BANDBREITE 38
2.2.3 TOLERANZ GEGENUEBER ABWEICHUNGEN DER GITTERGEOMETRIE 39
3 PROBENHERSTELLUNG UND -CHARAKTERISIERUNG 42
3.1 PROBENHERSTELLUNG 42
3.1.1 ELEKTRONENSTRAHLLITHOGRAPHIE 43
3.1.2 PLASMAAETZEN 44
3.1.3 IONENSTRAHLAETZEN 45
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INHALTSVERZEICHNIS 2
3.2 PROBENCHARAKTERISIERUNG 46
3.2.1 CHARAKTERISIERUNG DER GITTERGEOMETRIE 46
3.2.2 CHARAKTERISIERUNG DER OPTISCHEN EIGENSCHAFTEN 46
4 WELLENLEITERBASIERTE GITTERKONZEPTE FUER REFLEKTIVE
INTERFEROMETERKOMPONEN-
TEN 48
4.1 RWGS MIT ERHOEHTER WINKELTOLERANZ 48
4.1.1 GESTAPELTE GITTER MIT EINDIMENSIONALER PERIODIZITAET 48
4.1.2 RESONANTE WELLENLEITERGITTER MIT ZWEIDIMENSIONALER PERIODIZITAET .
55
4.2 KONZEPTE FUER STRAHLTEILER 60
4.2.1 TRANSVERSALE MODULATION 61
4.2.2 LATERALE MODULATION 63
5 EFFIZIENZKONTROLLE RESONANTER WELLENLEITERGITTER 65
5.1 DETERMINISTISCHE STRUKTURABWEICHUNGEN 65
5.1.1 PARAMETERTOLERANZEN GEGENUEBER DETERMINISTISCHEN STRUKTURABWEI-
CHUNGEN - ERHOEHTE TRANSMISSION 65
5.1.2 EFFIZIENZKONTROLLE DURCH TRIMMEN 68
5.2 STATISTISCHE STRUKTURABWEICHUNGEN - STREULICHT 73
5.3 TEMPERATURABHAENGIGKEIT DER REFLEKTIVITAET 80
6 THERMISCHES RAUSCHEN RESONANTER WELLENLEITERGITTER 83
6.1 THERMO-OPTISCHES RAUSCHEN MONOLITHISCHER SILIZIUMGITTER 83
6.1.1 THERMO-REFRAKTIVES RAUSCHEN 84
6.1.2 THERMO-ELASTISCHES RAUSCHEN 85
6.2 BROWNSCHES THERMISCHES RAUSCHEN MONOLITHISCHER SILIZIUMGITTER 88
6.3 THERMISCHES RAUSCHEN BINAERER TANTALPENTOXIDGITTER 93
6.4 RAUSCHABSCHAETZUNG WEITERER GITTERKONFIGURATIONEN 95
ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 98
LITERATURVERZEICHNIS 101
ANHANG
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