Abscheidung und Charakterisierung von PECVD TEOS Siliziumoxid Schichten im Vergleich zu Silan basierten Siliziumoxid Schichten:
Physikalische Technik
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Wildau
2014
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