APA (7th ed.) Citation

Hilleringmann, U. (2014). Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik (6., korr. und verb. Aufl.). Springer Fachmedien.

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Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik. 6., korr. und verb. Aufl. Wiesbaden: Springer Fachmedien, 2014.

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Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik. 6., korr. und verb. Aufl. Springer Fachmedien, 2014.