Verfügbarkeit: Silizium-Halbleitertechnologie

Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Hilleringmann, Ulrich (VerfasserIn)
Format:	Elektronisch E-Book
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Wiesbaden Springer Fachmedien 2014
Ausgabe:	6., korr. und verb. Aufl.
Schlagworte:	Halbleitertechnologie Siliciumhalbleiter Silicium Lehrbuch
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Beschreibung:	1 Online-Ressource (XI, 263 S., 160 Abb.)
ISBN:	9783834813350 9783834820853

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adam_text	SILIZIUM-HALBLEITERTECHNOLOGIE / HILLERINGMANN, ULRICH : 2014 TABLE OF CONTENTS / INHALTSVERZEICHNIS HERSTELLUNG VON SILIZIUMSCHEIBEN OXIDATION DES DOTIERTEN SILIZIUMS LITHOGRAFIE AETZTECHNIK DOTIERTECHNIKEN DEPOSITIONSVERFAHREN METALLISIERUNG UND KONTAKTE SCHEIBENREINIGUNG MOS-TECHNOLOGIEN ZUR SCHALTUNGSINTEGRATION ERWEITERUNGEN ZUR HOECHSTINTEGRATION BIPOLAR-TECHNOLOGIE MONTAGE INTEGRIERTER SCHALTUNGEN DIESES SCHRIFTSTUECK WURDE MASCHINELL ERZEUGT. SILIZIUM-HALBLEITERTECHNOLOGIE / HILLERINGMANN, ULRICH : 2014 ABSTRACT / INHALTSTEXT GRUNDLAGE DER MIKROELEKTRONISCHEN INTEGRATIONSTECHNIK IST DIE SILIZIUM-HALBLEITERTECHNOLOGIE. SIE SETZT SICH AUS EINER VIELZAHL VON SICH WIEDERHOLENDEN EINZELPROZESSEN ZUSAMMEN, DEREN DURCHFUEHRUNG UND APPARATIVE AUSSTATTUNG EXTREMEN ANFORDERUNGEN GENUEGEN MUESSEN, UM DIE GEFORDERTEN STRUKTURGROESSEN BIS ZU WENIGEN 10 NM GLEICHMAESSIG UND REPRODUZIERBAR ZU ERZEUGEN. DAS ZUSAMMENSPIEL DER OXIDATIONEN, AETZSCHRITTE UND IMPLANTATIONEN ZUR HERSTELLUNG VON MOS- UND BIPOLARSCHALTUNGEN WERDEN - AUSGEHEND VOM ROHSILIZIUM BIS ZUR GEKAPSELTEN INTEGRIERTEN SCHALTUNG - AUS SICHT DES ANWENDERS ERLAEUTERT. DAS LEHRBUCH BEHANDELT NEBEN DEN GRUNDLAGEN AUCH DIE TECHNISCHE DURCHFUEHRUNG DER EINZELPROZESSE ZUR INTEGRATIONSTECHNIK. DER INHALT HERSTELLUNG VON SILIZIUMSCHEIBEN - OXIDATION DES DOTIERTEN SILIZIUMS - LITHOGRAFIE - AETZTECHNIK - DOTIERTECHNIKEN - DEPOSITIONSVERFAHREN - METALLISIERUNG UND KONTAKTE - SCHEIBENREINIGUNG - MOS-TECHNOLOGIEN ZUR SCHALTUNGSINTEGRATION - ERWEITERUNGEN ZUR HOECHSTINTEGRATION - BIPOLAR-TECHNOLOGIE - MONTAGE INTEGRIERTER SCHALTUNGEN DIE ZIELGRUPPEN - STUDIERENDE DER FACHRICHTUNGEN ELEKTRONIK, ELEKTROTECHNIK, INFORMATIK UND PHYSIK - PROZESSINGENIEURE AUS DER HALBLEITERFERTIGUNG, MIKROTECHNOLOGEN UND SCHALTUNGSENTWICKLER DER AUTOR PROF. DR.-ING. ULRICH HILLERINGMANN IST LEITER DES FACHGEBIETES SENSORIK AN DER UNIVERSITAET PADERBORN UND LEHRT HALBLEITERTECHNOLOGIE, MESSTECHNIK, SENSORIK UND PROZESSMESSTECHNIK DIESES SCHRIFTSTUECK WURDE MASCHINELL ERZEUGT.
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