Hilleringmann, U. (2014). Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik (6., korr. und verb. Aufl.). Springer Fachmedien.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik. 6., korr. und verb. Aufl. Wiesbaden: Springer Fachmedien, 2014.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik. 6., korr. und verb. Aufl. Springer Fachmedien, 2014.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.