Optimierung eines Benzocyclobuten-basierten Waferbondprozesses:
Physikalische Technik
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Wildau
TH
2014
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| Schlagworte: | |
| Zusammenfassung: | Physikalische Technik |
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| Beschreibung: | I, 63 S. Ill., graph. Darst. 1 CD-ROM |
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