Elektrische Charakterisierung von FePt-Nanopartikeln:
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2014
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|---|---|
| adam_text | INHALTSVERZEICHNIS
EINLEITUNG 1
I. GRUNDLAGEN 5
1. DAS BINAERE LEGIERUNGSSYSTEM EISEN-PLATIN 7
2. MAGNETISCHE CHARAKTERISIERUNG 13
2.1. MAGNETISCHE ANISOTROPIE UND SUPERPARAMAGNETISMUS 13
2.2. ANISOTROPER MAGNETOWIDERSTAND 16
2.3. TUNNELMAGNETOWIDERSTAND 19
3. ELEKTRISCHE CHARAKTERISIERUNG 23
3.1. ELEKTROMIGRATION 24
3.2. MECHANISCH KONTROLLIERBARE BRUCHKONTAKTE 26
3.3. ELEKTRONENSTRAHLLITHOGRAPHIERTE KONTAKTE 29
3.4. DIE COULOMB-BLOCKADE 30
3.5. DER COULOMB-BLOCKADE DIAMANT 34
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INHALTSVERZEICHNIS
II.
EXPERIMENTELLE METHODEN 37
4. HERSTELLUNG DER PROBEN 39
4.1. ELEKTRONENSTRAHLLITHOGRAPHIE 42
4.1.1. BELACKEN 43
4.1.2. BELICHTEN 44
4.1.3. ENTWICKELN 45
4.1.4. METALLISIEREN 46
4.1.5. LIFT-OFF 46
4.2. HERSTELLUNG VON FEPT-NANOPARTIKELN 47
4.3. ABSCHEIDUNG DER GATE-ISOLATORSCHICHT 50
4.4. BONDEN 53
5. METHODEN DER PROBENCHARAKTERISIERUNG 55
5.1. RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE 55
5.2. TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE 56
5.3. MESSAUFBAU FUER ELEKTRISCHE UND MAGNETISCHE MESSUNGEN 62
5.3.1. SPITZENMESSPLATZ 62
5.3.2. ANORDNUNG FUER IN-PLANE MAGNETFELDMESSUNGEN 68
III. ERGEBNISSE UND DISKUSSION 73
6. CHARAKTERISIERUNG DER GOLDSTRUKTUREN 75
6.1. STRUKTURUNTERSUCHUNGEN DER ELEKTRODEN MITTELS HRTEM 75
6.1.1. ENTSTEHUNG VON AU-PARTIKELN 76
6.1.2. METHODEN ZUR ENTFERNUNG DER AU-PARTIKEL 79
6.1.3. ZEITLICHER EINFLUSS AUF DIE KONTAKTGEOMETRIE 84
6.2. ELEKTRISCHE CHARAKTERISIERUNG VON AU-NANOPARTIKELN 85
6.2.1. EINKRISTALLINE PARTIKEL 85
6.2.2. DEKAEDER UND EINKRISTALL 91
VIII
INHALTSVERZEICHNIS
7. CHARAKTERISIERUNG VON FEPT-NANOPARTIKELN 95
7.1. CHARAKTERISIERUNG AUF 50 NM MEMBRANEN 95
7.1.1. EINKRISTALLINES FEPT-PARTIKEL 97
7.1.2. LECKSTROMVERHALTEN VERSCHIEDENER ISOLATORMATERIALIEN 104
7.2. CHARAKTERISIERUNG AUF 15 NM MEMBRANEN 106
7.2.1. VERZWILLINGTE UND AGGLOMERIERTE FEPT-PARTIKEL 108
7.2.2. EINKRISTALLINES FEPT-PARTIKEL 117
8. ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 127
A. ANHANG 131
A.L. SIMULATION DER HYSTERESEKURVEN 131
A.2. GEFAHRENQUELLEN FUER SISN
4
- MEMBRANEN 133
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS 135
SYMBOLVERZEICHNIS 137
ABBILDUNGSVERZEICHNIS 139
TABELLENVERZEICHNIS 141
LITERATURVERZEICHNIS 143
DANKSAGUNG 155
IX
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