Herstellung von polykristallinen SiC-Quellenmaterialien und ihre Anwendung bei der Sublimationsepitaxie von einkristallinem 3C-SiC:
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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Kaiser, Michl (VerfasserIn)
Format: Abschlussarbeit Elektronisch E-Book
Sprache:German
Veröffentlicht: 2014
Schlagworte:
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http://d-nb.info/1075744385/34
Beschreibung:1 Online-Ressource

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