Epitaktisches Graphen auf SiC(0001) für elektronische Anwendungen: Aspekte der Materialsynthese, -integration und -manipulation
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German English |
| Veröffentlicht: |
2014
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| Beschreibung: | II, 201 S. Ill., graph. Darst. |
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|---|---|
| adam_text | EPITAKTISCHES GRAPHEN
AUF SIC(0001)
FUER ELEKTRONISCHE ANWENDUNGEN:
ASPEKTE DER MATERIALSYNTHESE,
-INTEGRATION UND
-MANIPULATION
DER NATURWISSENSCHAFTLICHEN FAKULTAET
DER FRIEDRICH-ALEXANDER-UNIVERSITAET
ERLANGEN-N UERNBERG
ZUR
ERLANGUNG DES DOKTORGRADES DR. RER. NAT.
VORGELEGT VON
FLORIAN SPECK
AUS NUERNBERG
HTTP://D-NB.INFO/1053635060
INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG 1
2 STRUKTUR UND EIGENSCHAFTEN VON SILIZIUMKARBID UND GRAPHEN 5
2.1 SILIZIUMKARBID 5
2.2 GRAPHEN 10
2.3 EPITAKTISCHES GRAPHEN AUF SILIZIUMKARBID 18
3 EXPERIMENTELLE METHODEN 25
3.1 ATOMIC LAYER DEPOSITION 25
3.2 PHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE 30
3.2.1 GRUNDLEGENDE ASPEKTE 30
3.2.2 EXPERIMENTELLE DETAILS 38
3.2.3 BESTIMMUNG VON OBERFLAECHENZUSAMMENSETZUNGEN MIT
XPS 39
3.2.4 BESTIMMUNG VON SCHICHTDICKEN MIT XPS 40
3.3 RASTERKRAFTMIKROSKOPIE 42
3.4 INFRAROTSPEKTROSKOPIE IM MODUS DER ABGESCHWAECHTEN TOTALRE
FLEXION 46
3.5 RAMAN-SPEKTROSKOPIE 49
3.6 PROBENPRAEPARATION 53
4 AUTOMATISIERTER HOCHTEMPERATUROFEN ZUR ZUECHTUNG VON EPITAKTI
SCHEM GRAPHEN AUF SILIZIUMKARBID 55
4.1 AUFBAU UND FUNKTIONSWEISE DES REAKTORS 55
4.2 WASSERSTOFFAETZEN VON 6H-SIC(0001)-OBERFLAECHEN 60
4.3 ZUECHTUNG VON GRAPHEN AUF 6H-SIC(0001)-OBERFLAECHEN .... 63
5 ALD VON ALUMINIUMOXID AUF HOPG 67
5.1 CHARAKTERISIERUNG VON UNBEHANDELTEM HOPG 69
5.2 ALD-WACHSTUM MIT WASSER 72
5.3 ALD-WACHSTUM MIT OZON 75
6 ALD VON ALUMINIUMOXID AUF EPITAKTISCHEM GRAPHEN 83
6.1 ALD-WACHSTUM MIT WASSER 83
6.2 ALD-WACHSTUM MIT OZON 87
6.3 OPTIMIERUNG DER OZON-PROZESSE 94
6.4 FELDEFFEKT IN GRAPHEN MIT ALD-ALUMINIUMOXID AUS OZON-
PROZESSEN 102
7 ALD AUF ALUMINIUMOXID-NUKLEATIONSSCHICHTEN AUF EPITAKTISCHEM
GRAPHEN 107
7.1 CHARAKTERISIERUNG VON AUFGEDAMPFTEM ALUMINIUMOXID MIT XPS 107
7.2 ALD-WACHSTUM VON AI2O3 AUF EPILAKTISCHEM GRAPHEN MIT
AUFGEDAMPFTEN NUKLEATIONSSCHICHTEN 113
8 QUASI-FREISTEHENDES GRAPHEN AUF SIC(0001) 121
8.1 ZUECHTUNG DER PUFFERSCHICHT IN ARGONATMOSPHAERE 122
8.2 APPARATUR ZUR WASSERSTOFFBEHANDLUNG 126
8.3 SPEKTROSKOPISCHE CHARAKTERISIERUNG QUASI-FREISTEHENDER GRA
PHENSCHICHTEN AUF SIC(OOOL) 128
8.3.1 PHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE 128
8.3.2 INFRAROTSPEKTROSKOPIE 135
8.3.3 RAMAN-SPEKTROSKOPIE 143
8.4 ELEKTRISCHE CHARAKTERISIERUNG DER QUASI-FREISTEHENDEN GRAPHEN
SCHICHTEN 150
8.5 ABSCHLIESSENDE BEMERKUNGEN 155
9 ZUSAMMENFASSUNG 159
10 SUMMARY 165
A BESTIMMUNG DER TRANSMISSIONSFUNKTION DES EIEKTRONENSPEKTRO-
METERS PHOIBOS 150 MCD-9 171
LITERATURVERZEICHNIS 181
VEROEFFENTLICHUNGEN
DANKSAGUNG
II
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