A practical guide to optical metrology for thin films:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Quinten, Michael (VerfasserIn)
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Weinheim, Germany Wiley-VCH c2013
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
Beschreibung:Includes bibliographical references (p. 201-208) and index
Beschreibung:1 Online-Ressource (xii, 211 p.)
ISBN:9783527664375
9783527664351
9783527664368
9783527664344
9781299475991

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