El-Kareh, B. (2009). Silicon Devices and Process Integration: Deep Submicron and Nano-Scale Technologies. Springer US. https://doi.org/10.1007/978-0-387-69010-0
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)El-Kareh, Badih. Silicon Devices and Process Integration: Deep Submicron and Nano-Scale Technologies. Boston, MA: Springer US, 2009. https://doi.org/10.1007/978-0-387-69010-0.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)El-Kareh, Badih. Silicon Devices and Process Integration: Deep Submicron and Nano-Scale Technologies. Springer US, 2009. https://doi.org/10.1007/978-0-387-69010-0.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.