System-level modeling of MEMS:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Weinheim Wiley-VCH 2013
Schriftenreihe:Advanced micro & nanosystems 10
Schlagworte:
Online-Zugang:FRO01
TUM01
UBT01
Volltext
Beschreibung:Includes bibliographical references and index
Beschreibung:1 Online-Ressource
ISBN:9783527647125
9783527647132

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