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Bibliographische Detailangaben
Format:	Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Weinheim Wiley-VCH 2013
Schriftenreihe:	Advanced micro & nanosystems
Schlagworte:	CMOS MEMS Aufsatzsammlung
Online-Zugang:	Inhaltstext
Beschreibung:	XIV, 594 S. Ill., graph. Darst.
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