Spektroskopische Untersuchungen an organischen Materialien und Metalloxiden:
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2013
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1 EINLEITUNG 1
2 EXPERIMENTELLE METHODEN 5
2.1 EXPERIMENTELLER AUFBAU 5
2.2 ELEKTRON-ENERGIE-VERLUST-SPEKTROSKOPIE (EELS) 6
2.3 PHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE (PES) 10
2.4 ROENTGEN-ABSORPTIONS-SPEKTROSKOPIE (XAS) 12
2.5 RESONANTE PHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE (RESPES) 15
2.6 RESONANTE-INELASTISCHE-ROENTGENSTREUUNG (RIXS) 19
2.7 SPEKTROSKOPISCHE ELLIPSORAETRIE (VASE) 21
3 MATERIALIEN 25
3.1 ORGANISCHE SYSTEME 25
3.1.1 COBALT-PHTHALOCYANINE (COPC) 27
3.1.2 FULLEREN (CEO) 29
3.2 METALLOXIDE 32
3.2.1 HAFNIUMOXID (HFC^) 34
3.2.2 ALUMINIUMOXID
(AI2O3)
37
3.2.3 INDIUMOXID
(I112O3)
38
3.2.4 GALLIUMOXID (GA2UE3) 40
4 PROBEN UND PROBENPRAEPARATION 43
4.1 AUFDAMPFEN UND AUFSCHLEUDERN 43
4.1.1 COPC 43
4.1.2 C
60
45
4.2 ATOMLAGENABSCHEIDUNG (ALD) 45
4.2.1 LLF(
2
47
4.2.2 AU).., 48
4.3 EINKRISTALLE 48
4.3.1 IN
2
0
,3
49
4.3.2 .I -GA,(), 49
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5 ERGEBNISSE 51
5.1 ORGANISCHE SYSTEME 51
5.1.1 COPC 51
5.1.1.1 SR-XPS- UND RESPES-ERGEBNISSE 52
5.1.1.2 XAS-ERGEBNISSE 60
5.1.1.3 RIXS-ERGEBNISSE 62
5.1.1.4 EELS- UND ELLIPSOMETRIE-ERGEBNISSE 65
5.1.2 ( 68
5.1.2.1 SR-XPS-ERGEBNISSE 68
5.1.2.2 XAS-ERGEBNISSE 70
5.1.2.3 EELS- UND ELLIPSOMETRIE-ERGEBNISSE 71
5.2 OXIDISCHE SYSTEME 73
5.2.1 LIFO.. 73
5.2.1.1 SR-XPS-ERGEBNISSE 73
5.2.1.2 RESPES ERGEBNISSE 76
5.2.1.3 ZYKLUS-FUER-ZYKLUS-ERGEBNISSE 77
5.2.1.4 XAS-ERGEBNISSE 80
5.2.1.5 RIXS-ERGEBNISSE 82
5.2.1.6 EELS-ERGEBNISSE 88
5.2.2 A1
2
0
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5.2.2.1 SR-XPS-ERGEBNISSE 91
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5.2.2.3 XAS-ERGEBNISSE 94
5.2.2.4 EELS-ERGEBNISSE 96
5.2.3 IN..().{ 97
5.2.3.1 SR-XPS-ERGEBNISSE 97
5.2.3.2 RESPES-ERGEVJNISSE 102
5.2.3.3 XAS-ERGEBNISSE 104
5.2.4 GA
2
0
3
107
5.2.4.1 SR-XPS-ERGEBNISSE 107
5.2.4.2 RESPES-ERGEBNISSE 110
5.2.4.3 XAS-ERGEBNISSE 112
6 DISKUSSION 115
6.1 BESTIMMUNG DER ENERGIELUECKE 115
6.1.1 EINFLUSS DER VERWENDETEN SPEKTROSKOPISCHEN METHODE AUF DIE BE
STIMMUNG DER ENERGIELUECKE 116
6.1.2 EINFLUSS VON DEFEKTEN 123
6.1.3 EINFLUSS EINER DIPOLSCHICHT 124
6.2 DEFEKTE 126
6.2.1 FANO ANTI-RESONANZ AN DER OLS KANTE 126
6.2.2 DER 3-LOCH-AUGER-PROZESS 128
6.3 WACHSTUMSMODELLE 133
6.3.1 ORIENTIERUNG VON COPE AUF SI0
2
133
6.3.2 ALD-WACHSTUM VOM HF0
2
AUF SI0
2
IN DEN ERSTEN ZYKLEN 139
ZUSAMMENFASSUNG 144
LITERATURVERZEICHNIS 145
ABKUERZUNGEN 164
VEROEFFENTLICHUNGEN 168
LEBENSLAUF 169
DANKSAGUNG 171
ERKLAERUNG 173
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