Aluminiumnitrid-Volumenkristallzüchtung mittels physikalischen Gasphasentransports:
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INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG 1
1.1 UEBERBLICK 1
1.2 STRUKTURELLE EIGENSCHAFTEN VON AIN 2
1.3 PHYSIKALISCHE EIGENSCHAFTEN, ANWENDUNGEN UND LIMITIERUNGEN VON AIN 5
1.4 HISTORISCHER RUECKBLICK ZUR AIN-KRISTALLZUECHTUNG 8
1.5 ZIELSTELLUNG UND GLIEDERUNG DER ARBEIT 12
2 SETUP UND METHODEN 14
2.1 REAKTORDESIGN 14
2.2 PHYSICAL VAPOUR TRANSPORT VON AIN - PROZESSGRUNDLAGEN 15
2.3 CHARAKTERISIERUNGMETHODEN 18
2.4 THERMODYNAMISCHE GLEICHGEWICHTSBERECHNUNGEN 25
3 TIEGELMATERIALIEN FUER DIE AIN-ZUECHTUNG 26
3.1 ANFORDERUNGEN 26
3.2 LITERATURUEBERSICHT 27
3.3 MATERIALEIGENSCHAFTEN UND TIEGELHERSTELLUNG 29
3.4 EIGNUNGSTESTS 50
3.5 RESUEMEE 56
4 AIN-QUELLMATERIALVORBEHANDLUNGEN 58
4.1 UEBERBLICK 58
4.2 SINTERN 62
4.3 REDUKTION MIT AMMONIAK 63
4.4 KARBOTHERMISCHE REDUKTION 67
5 NUMERISCHE SIMULATION DES AIN-WACHSTUMS 73
5.1 LITERATURUEBERSICHT DER AIN-WACHSTUMSMODELLIERUNG 73
5.2 NUMERISCHE SIMULATION DES AIN-WACHSTUMS MIT VIRTUALREACTOR 75
5.3 RESUEMEE 81
6 ZUECHTUNG UND CHARAKTERISIERUNG VON AIN-KRISTALLEN 83
6.1 KRISTALLWACHSTUMSSTRATEGIEN 83
6.2 HETEROEPITAXIE AUF SIC-SUBSTRATEN 87
6.3 ZUECHTUNG FREISTEHENDER AIN-KRISTALLE DURCH SPONTANE NUKLEATION 108
6.4 HOMOEPITAXIE AUF AIN-EIGENSUBSTRAT 128
7 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 135
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