Historical development and future trends of vacuum electronics: papers from the 56th Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: New York American Inst. of Physics 2012
Schriftenreihe:Journal of vacuum science & technology : B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena 30,6
Schlagworte:
Beschreibung:Einzelaufnahme eines Zs.-Heftes
Beschreibung:Getr. Zählung Ill., graph. Darst.

Es ist kein Print-Exemplar vorhanden.

Fernleihe Bestellen Achtung: Nicht im THWS-Bestand!