Zinkoxidschichten aus chemischer Beschichtungslösung für den Einsatz in Solarzellen:
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2012
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INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG & ZIELE 1
2 THEORIE & STAND DER TECHNIK 6
2.1 ATOMARE BINDUNGSVERHALTNISSE 6 2.2 ELEKTRISCHE LEITFAEHIGKEIT 8
2.3 OPTISCHE CHARAKTERISTIK 24
2.4 BESCHICHTUNGSVERFAHREN 34
2.5 BESCHICHTUNGAUS LOESUNG 38
2.6 TECHNISCHE & OEKONOMISCHE BEWERTUNG FUER
DQNNSCHICHTSILIZIUM-SOLARMODULE . 50
3 EXPERIMENTELLES 56
3.1 LOESUNGSHERSTELLUNG UND CHEMIKALIEN 56 3.2 PROZESSIERUNG 59
3.3 EINGESETZTE GERAETE 64
3.4 MESSTECHNIK 66
4 ERGEBNISSE 80
4.1 REFERENZSCHICHTEN 80
4.2 BESCHICHTUNGSLOESUNG 89
4.3 VORTROCKNUNG 115
4.4 SINTERUNG 132
4.5 THERMISCHE NACHBEHANDLUNG 146 4.6 SCHICHTANZAHL 156
4.7 INFRAROT-REFLEXION 162
4.8 ELEKTRISCHES MODELL & AMORPHES INDIUMZINKOXID 165 4.9 STABILITAET 181
4.10 LICHTSTREUUNG 189
5 DISKUSSION 206
6 ZUSAMMENFASSUNG 221
LITERATURVERZEICHNIS 230
ANHANG 243
DANKSAGUNG 250
LEBENSLAUF 251
XI
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