Beeinflussung der Titankarbid-Schichtdicke bei der HFCVD-Diamantbeschichtung von Titan durch Oberflächenvorbehandlungen und Variation der Beschichtungsparameter:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
2013
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | kostenfrei kostenfrei http://d-nb.info/1033688290/34 Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | X, 140 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV041073124 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20170328 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 130606s2013 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 015 | |a 13,O05 |2 dnb | ||
| 016 | 7 | |a 1033688290 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)854723316 | ||
| 035 | |a (DE-599)DNB1033688290 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c XA-DE-BY | ||
| 049 | |a DE-384 |a DE-473 |a DE-703 |a DE-1051 |a DE-824 |a DE-29 |a DE-12 |a DE-91 |a DE-19 |a DE-1049 |a DE-92 |a DE-739 |a DE-898 |a DE-355 |a DE-706 |a DE-20 |a DE-1102 |a DE-29T | ||
| 082 | 0 | |a 673.7322735 |2 22//ger | |
| 084 | |a ZM 7685 |0 (DE-625)160563: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Neuerer, Katharina |e Verfasser |0 (DE-588)1035524708 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Beeinflussung der Titankarbid-Schichtdicke bei der HFCVD-Diamantbeschichtung von Titan durch Oberflächenvorbehandlungen und Variation der Beschichtungsparameter |c von Katharina Neuerer |
| 264 | 1 | |c 2013 | |
| 300 | |a X, 140 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2013 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Oberflächenbehandlung |0 (DE-588)4042908-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Cat-CVD-Verfahren |0 (DE-588)4673183-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Schichtdicke |0 (DE-588)4264521-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Diamant |0 (DE-588)4012069-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Titancarbid |0 (DE-588)4185547-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Bor |0 (DE-588)4007709-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Titan |0 (DE-588)4140648-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Cat-CVD-Verfahren |0 (DE-588)4673183-0 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Titan |0 (DE-588)4140648-5 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Titancarbid |0 (DE-588)4185547-4 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Schichtdicke |0 (DE-588)4264521-9 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Cat-CVD-Verfahren |0 (DE-588)4673183-0 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Diamant |0 (DE-588)4012069-7 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Bor |0 (DE-588)4007709-3 |D s |
| 689 | 1 | 3 | |a Oberflächenbehandlung |0 (DE-588)4042908-8 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 776 | 0 | 8 | |i Erscheint auch als |n Online-Ausgabe |o urn:nbn:de:bvb:29-opus-45015 |
| 856 | 4 | |u https://open.fau.de/handle/openfau/3295 |x Verlag |z kostenfrei |3 Volltext | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus-45015 |x Resolving-System |z kostenfrei |3 Volltext |
| 856 | 4 | |u http://d-nb.info/1033688290/34 |x Langzeitarchivierung Nationalbibliothek | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=026050088&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 912 | |a ebook | ||
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-026050088 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804150439945437184 |
|---|---|
| adam_text | IMAGE 1
VLL
INHALTSVERZEICHNIS
INHALTSVERZEICHNIS
1 MOTIVATION UND ZIELSETZUNG 1
2 GRUNDLAGEN 4
2.1 DIAMANTHERSTELLUNG AUS DER GASPHASE 4
2.1.1 GASPHASEN-REAKTIONEN BEIM HFCVD-PROZESS 5
2.1.2 BORDOTIERTER DIAMANT FUER DIE ANWENDUNG IN DER ELEKTROCHEMIE 8
2.2 TITAN 9
2.2.1 A-SS-PHASENUMWANDLUNG VON TITAN 10
2.2.2 DIFFUSION IN TITAN 12
2.2.3 DAS SYSTEM TITAN-SAUERSTOFF 15
2.2.4 DAS SYSTEM TITAN-WASSERSTOFF 21
2.2.5 DAS SYSTEM TITAN-KOHLENSTOFF 25
2.3 DIAMANTBESCHICHTUNG VON TITANSUBSTRATEN 29
2.3.1 GEFUEGEAENDERUNG DES TITANS BEI DER DIAMANTBESCHICHTUNG 29
2.3.2 SCHICHTBILDUNG AUF TITAN BEI DER DIAMANTBESCHICHTUNG 31
2.3.3 HAFTFESTIGKEIT VON DIAMANT AUF TITAN 33
3 EXPERIMENTELLES VORGEHEN 37
3.1 PROBENVORBEHANDLUNG 37
3.1.1 STANDARDVORBEHANDLUNG 37
3.1.2 OXIDATION 37
3.2 DIAMANTBESCHICHTUNG IM HFCVD-PROZESS 38
3.3 CHARAKTERISIERUNG DER PROBEN 40
3.3.1 PROBENENTNAHME UND METALLOGRAFISCHE ANSCHLIFFPRAEPARATION 40
3.3.2 GEFUEGEANALYSE UND SCHICHTDICKENMESSUNG 41
3.3.3 MIKROHAERTEVERLAUF 42
3.3.4 BESTIMMUNG DES SAUERSTOFFGEHALTES 42
3.3.5 OBERFLAECHENAUFNAHMEN UND FIB-SCHNITTE 43
3.3.6 PHASENANALYSE 43
3.4 LEBENSDAUER IM ELEKTROCHEMISCHEN TEST 43
4 ERGEBNISSE 45
4.1 BILDUNG DER OXIDSCHICHT 45
4.2 SUBSTRATBEEINFLUSSUNG DURCH DIE DIAMANTBESCHICHTUNG 48
4.2.1 STANDARDPROBEN 48
4.2.2 OXIDIERTE PROBEN 52
HTTP://D-NB.INFO/1036969088
IMAGE 2
INHALTSVERZEICHNIS VLLL
4.2.3 A-CASE PROBEN 59
4.2.4 EINFLUSS DES METHANGEHALTS 69
4.3 SCHICHTWACHSTUM AN DER SUBSTRATOBERFLAECHE 74
4.3.1 STANDARDPROBEN 75
4.3.2 OXIDIERTE PROBEN 80
4.3.3 A-CASE PROBEN 86
4.3.4 EINFLUSS DES METHANGEHALTS 93
4.3.5 DIAMANTSCHICHT FUER ALLE VORBEHANDLUNGEN 95
4.3.6 DIAMANTSCHICHT BEI AENDERUNG DES METHANGEHALTS 99
5 THERMODYNAMIK UND MODELLBILDUNG 102
5.1 STANDARDPROBEN 102
5.2 OXIDIERTE PROBEN 106
5.3 A-CASE PROBEN 113
5.4 EINFLUSS DES METHANGEHALTS 118
6 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 120
7 LITERATURLISTE 123
8 ANHANG 140
|
| any_adam_object | 1 |
| author | Neuerer, Katharina |
| author_GND | (DE-588)1035524708 |
| author_facet | Neuerer, Katharina |
| author_role | aut |
| author_sort | Neuerer, Katharina |
| author_variant | k n kn |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV041073124 |
| classification_rvk | ZM 7685 |
| collection | ebook |
| ctrlnum | (OCoLC)854723316 (DE-599)DNB1033688290 |
| dewey-full | 673.7322735 |
| dewey-hundreds | 600 - Technology (Applied sciences) |
| dewey-ones | 673 - Nonferrous metals |
| dewey-raw | 673.7322735 |
| dewey-search | 673.7322735 |
| dewey-sort | 3673.7322735 |
| dewey-tens | 670 - Manufacturing |
| discipline | Werkstoffwissenschaften / Fertigungstechnik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02745nam a2200601 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV041073124</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20170328 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">130606s2013 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="015" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">13,O05</subfield><subfield code="2">dnb</subfield></datafield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">1033688290</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)854723316</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)DNB1033688290</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">XA-DE-BY</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-384</subfield><subfield code="a">DE-473</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-1051</subfield><subfield code="a">DE-824</subfield><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-19</subfield><subfield code="a">DE-1049</subfield><subfield code="a">DE-92</subfield><subfield code="a">DE-739</subfield><subfield code="a">DE-898</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield><subfield code="a">DE-20</subfield><subfield code="a">DE-1102</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">673.7322735</subfield><subfield code="2">22//ger</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZM 7685</subfield><subfield code="0">(DE-625)160563:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Neuerer, Katharina</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)1035524708</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Beeinflussung der Titankarbid-Schichtdicke bei der HFCVD-Diamantbeschichtung von Titan durch Oberflächenvorbehandlungen und Variation der Beschichtungsparameter</subfield><subfield code="c">von Katharina Neuerer</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">2013</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">X, 140 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2013</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Oberflächenbehandlung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4042908-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Cat-CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4673183-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Schichtdicke</subfield><subfield code="0">(DE-588)4264521-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Diamant</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012069-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Titancarbid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185547-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Bor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4007709-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Titan</subfield><subfield code="0">(DE-588)4140648-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Cat-CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4673183-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Titan</subfield><subfield code="0">(DE-588)4140648-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Titancarbid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185547-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Schichtdicke</subfield><subfield code="0">(DE-588)4264521-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Cat-CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4673183-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Diamant</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012069-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Bor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4007709-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Oberflächenbehandlung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4042908-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="776" ind1="0" ind2="8"><subfield code="i">Erscheint auch als</subfield><subfield code="n">Online-Ausgabe</subfield><subfield code="o">urn:nbn:de:bvb:29-opus-45015</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2=" "><subfield code="u">https://open.fau.de/handle/openfau/3295</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="z">kostenfrei</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="1"><subfield code="u">https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus-45015</subfield><subfield code="x">Resolving-System</subfield><subfield code="z">kostenfrei</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2=" "><subfield code="u">http://d-nb.info/1033688290/34</subfield><subfield code="x">Langzeitarchivierung Nationalbibliothek</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=026050088&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ebook</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-026050088</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV041073124 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-10T00:38:57Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-026050088 |
| oclc_num | 854723316 |
| open_access_boolean | 1 |
| owner | DE-384 DE-473 DE-BY-UBG DE-703 DE-1051 DE-824 DE-29 DE-12 DE-91 DE-BY-TUM DE-19 DE-BY-UBM DE-1049 DE-92 DE-739 DE-898 DE-BY-UBR DE-355 DE-BY-UBR DE-706 DE-20 DE-1102 DE-29T |
| owner_facet | DE-384 DE-473 DE-BY-UBG DE-703 DE-1051 DE-824 DE-29 DE-12 DE-91 DE-BY-TUM DE-19 DE-BY-UBM DE-1049 DE-92 DE-739 DE-898 DE-BY-UBR DE-355 DE-BY-UBR DE-706 DE-20 DE-1102 DE-29T |
| physical | X, 140 S. Ill., graph. Darst. |
| psigel | ebook |
| publishDate | 2013 |
| publishDateSearch | 2013 |
| publishDateSort | 2013 |
| record_format | marc |
| spelling | Neuerer, Katharina Verfasser (DE-588)1035524708 aut Beeinflussung der Titankarbid-Schichtdicke bei der HFCVD-Diamantbeschichtung von Titan durch Oberflächenvorbehandlungen und Variation der Beschichtungsparameter von Katharina Neuerer 2013 X, 140 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2013 Oberflächenbehandlung (DE-588)4042908-8 gnd rswk-swf Cat-CVD-Verfahren (DE-588)4673183-0 gnd rswk-swf Schichtdicke (DE-588)4264521-9 gnd rswk-swf Diamant (DE-588)4012069-7 gnd rswk-swf Titancarbid (DE-588)4185547-4 gnd rswk-swf Bor (DE-588)4007709-3 gnd rswk-swf Titan (DE-588)4140648-5 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Cat-CVD-Verfahren (DE-588)4673183-0 s Titan (DE-588)4140648-5 s Titancarbid (DE-588)4185547-4 s Schichtdicke (DE-588)4264521-9 s DE-604 Diamant (DE-588)4012069-7 s Bor (DE-588)4007709-3 s Oberflächenbehandlung (DE-588)4042908-8 s Erscheint auch als Online-Ausgabe urn:nbn:de:bvb:29-opus-45015 https://open.fau.de/handle/openfau/3295 Verlag kostenfrei Volltext https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus-45015 Resolving-System kostenfrei Volltext http://d-nb.info/1033688290/34 Langzeitarchivierung Nationalbibliothek DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=026050088&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Neuerer, Katharina Beeinflussung der Titankarbid-Schichtdicke bei der HFCVD-Diamantbeschichtung von Titan durch Oberflächenvorbehandlungen und Variation der Beschichtungsparameter Oberflächenbehandlung (DE-588)4042908-8 gnd Cat-CVD-Verfahren (DE-588)4673183-0 gnd Schichtdicke (DE-588)4264521-9 gnd Diamant (DE-588)4012069-7 gnd Titancarbid (DE-588)4185547-4 gnd Bor (DE-588)4007709-3 gnd Titan (DE-588)4140648-5 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4042908-8 (DE-588)4673183-0 (DE-588)4264521-9 (DE-588)4012069-7 (DE-588)4185547-4 (DE-588)4007709-3 (DE-588)4140648-5 (DE-588)4113937-9 |
| title | Beeinflussung der Titankarbid-Schichtdicke bei der HFCVD-Diamantbeschichtung von Titan durch Oberflächenvorbehandlungen und Variation der Beschichtungsparameter |
| title_auth | Beeinflussung der Titankarbid-Schichtdicke bei der HFCVD-Diamantbeschichtung von Titan durch Oberflächenvorbehandlungen und Variation der Beschichtungsparameter |
| title_exact_search | Beeinflussung der Titankarbid-Schichtdicke bei der HFCVD-Diamantbeschichtung von Titan durch Oberflächenvorbehandlungen und Variation der Beschichtungsparameter |
| title_full | Beeinflussung der Titankarbid-Schichtdicke bei der HFCVD-Diamantbeschichtung von Titan durch Oberflächenvorbehandlungen und Variation der Beschichtungsparameter von Katharina Neuerer |
| title_fullStr | Beeinflussung der Titankarbid-Schichtdicke bei der HFCVD-Diamantbeschichtung von Titan durch Oberflächenvorbehandlungen und Variation der Beschichtungsparameter von Katharina Neuerer |
| title_full_unstemmed | Beeinflussung der Titankarbid-Schichtdicke bei der HFCVD-Diamantbeschichtung von Titan durch Oberflächenvorbehandlungen und Variation der Beschichtungsparameter von Katharina Neuerer |
| title_short | Beeinflussung der Titankarbid-Schichtdicke bei der HFCVD-Diamantbeschichtung von Titan durch Oberflächenvorbehandlungen und Variation der Beschichtungsparameter |
| title_sort | beeinflussung der titankarbid schichtdicke bei der hfcvd diamantbeschichtung von titan durch oberflachenvorbehandlungen und variation der beschichtungsparameter |
| topic | Oberflächenbehandlung (DE-588)4042908-8 gnd Cat-CVD-Verfahren (DE-588)4673183-0 gnd Schichtdicke (DE-588)4264521-9 gnd Diamant (DE-588)4012069-7 gnd Titancarbid (DE-588)4185547-4 gnd Bor (DE-588)4007709-3 gnd Titan (DE-588)4140648-5 gnd |
| topic_facet | Oberflächenbehandlung Cat-CVD-Verfahren Schichtdicke Diamant Titancarbid Bor Titan Hochschulschrift |
| url | https://open.fau.de/handle/openfau/3295 https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus-45015 http://d-nb.info/1033688290/34 http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=026050088&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT neuererkatharina beeinflussungdertitankarbidschichtdickebeiderhfcvddiamantbeschichtungvontitandurchoberflachenvorbehandlungenundvariationderbeschichtungsparameter |