Charakterisierung hoch belasteter amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoffbeschichtungen zur tribologischen Anwendung auf Ventiltriebskomponenten:
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INHALTSVERZEICHNIS
KURZFASSUNG III
INHALTSVERZEICHNIS V
1 EINLEITUNG UND ZIELSETZUNG 1
2 GRUNDLAGEN 3
2.1 DIAMANTAEHNLICHER KOHLENSTOFF 3
2.1.1 EIGENSCHAFTEN 4
2.1.2 HERSTELLUNGSVERFAHREN 7
2.1.3 EINSATZGEBIETE 10
2.2 NIEDERTEMPERATURPLASMEN 12
2.2.1 ALLGEMEINE PLASMAKENNGROESSEN 12
2.2.2 PLASMAPARAMETER 13
2.2.3 OPTISCHE PLASMAEMISSIONSSPEKTROSKOPIE 15
2.3 TRIBOLOGIE 16
2.3.1 REIBUNG 17
2.3.2 VERSCHLEISS 23
3 EXPERIMENTELLER AUFBAU 27
3.1 HERSTELLUNG 27
3.1.1 SUBSTRATE 27
3.1.2 PROBENPRAEPARATION 30
3.1.3 EMISSIONSSPEKTROSKOPIE IM HERSTELLUNGSPROZESS 32
3.2 ANALYSEMETHODEN 36
3.2.1 STRUKTURAUFKLAERUNG 36
3.2.2 MECHANISCHE CHARAKTERISIERUNG 41
3.3 TRIBOLOGISCHE UNTERSUCHUNG 45
3.3.1 SCHWING- REIB- VERSCHLEISS- TRIBOMETER 46
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VI INHALTSVERZEICHNIS
3.3.2 TRIBOLOGIEMESSZELLE 47
3.3.3 KOMPONENTENPRUEFSTAND 48
4 ERGEBNISSE UND DISKUSSION 53
4.1 CHARAKTERISIERUNG DES PROZESSPLASMAS 53
4.1.1 VORUNTERSUCHUNG 53
4.1.2 UEBERTRAGBARKEIT 60
4.1.3 PROZESSPLASMA 62
4.2 SCHICHTCHARAKTERISIERUNG 66
4.2.1 ZUSAMMENSETZUNG 66
4.2.2 STRUKTURANALYSE 69
4.2.3 MECHANISCHE EIGENSCHAFTEN 77
4.3 TRIBOLOGISCHE CHARAKTERISIERUNG 84
4.3.1 EINFLUSSFAKTOREN 85
4.3.2 ANALYSE IM LABORMASSSTAB 92
4.3.3 TRIBOLOGISCHE ANWENDUNG 101
4.4 DISKUSSION 116
5 ZUSAMMENFASSUNG 121
SYMBOLVERZEICHNIS 123
LITERATURVERZEICHNIS 127
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