Feuchtediffusion in partikelgefüllten Epoxidharzen für die Mikroelektronik:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Stuttgart
Fraunhofer-Verl.
2013
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INHALTSVERZEICHNIS
ZUSAMMENFASSUNG III
ABSTRACT VI
DANKSAGUNG IX
1 EINLEITUNG 1
2 GRUNDLAGEN 3
2.1 EPOXIDHARZE - GRUNDLEGENDE EIGENSCHAFTEN 3
2.2 FUELLSTOFFE 4
2.3 FEUCHTETRANSPORT IN UNGEFUELLTEN UND GEFUELLTEN EPOXIDHARZEN 6 2.4
MODELLIERUNG DER DIFFUSION 9
2.4.1 FICK SCHE DIFFUSION 9
2.4.2 SPEZIELLE LOESUNGEN DER FICK SCHEN GLEICHUNG 11
2.4.3 NICHT FICK SCHE DIFFUSION 15
3 MESSMETHODEN FUER 1- UND 2-SEITIGE DIFFUSION 19
3.1 STAND DER TECHNIK 19
3.2 NEU ENTWICKELTE MESSMETHODEN 23
3.2.1 GLOB TOP TESTVEHIKEL MIT FEUCHTESENSOR 24
3.2.2 INTERDIGITALKONDENSATORSTRUKTUREN 42
4 MATERIALAUSWAHL 48
4.1 MATERIALAUSWAHL HARZ-HAERTER-SYSTEM 48
4.1.1 PHENOLISCH GEHAERTETES EPOXIDHARZ 48
4.1.2 ANHYDRIDISCH GEHAERTETES EPOXIDHARZ 50
4.2 MATERIALAUSWAHL FUELLSTOFFE 51
4.2.1 MIKROMETER-SKALIGE KRISTALLINE FUELLSTOFFE EINGESETZT MIT HOHEM
FUELLGRAD.... 52 4.2.2 NANOMETER-SKALIGE FUELLSTOFFE EINGESETZT MIT
GERINGEM FUELLGRAD 53 4.2.3 FUELLSTOFFE MIT GROSSEM ASPEKTVERHAELTNIS VON
FLAECHE ZU DICKE 55 4.2.4 POROESE FUELLSTOFFPARTIKEL 58
4.3 PROBENPRAEPARATION 60
5 BASISCHARAKTERISIERUNG 62
5.1 BASISCHARAKTERISIERUNG FUELLSTOFFE 62
5.2 BASISCHARAKTERISIERUNG HARZ-FUELLSTOFF-SYSTEME 68
5.2.1 RHEOLOGIE 68
5.2.2 REAKTIONSKINETIK 71
5.2.3 REAKTIONSSCHRUMPF 74
5.2.4 HAFTFESTIGKEIT 77
5.2.5 DYNAMISCH-MECHANISCHE EIGENSCHAFTEN 81
5.2.6 THERMISCHE LAENGENAUSDEHNUNG 84
5.2.7 SCHLUSSFOLGERUNGEN 85
X
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IMAGE 2
6 FEUCHTEABSORPTION UND BARRIEREWIRKUNG 88
6.1 GRAVIMETRISCHE MESSUNGEN ZUR 2-SEITIGEN DIFFUSION 88
6.2 MESSUNGEN MIT DEM GLOB TOP TESTVEHIKEL ZUR 1 -SEITIGEN DIFFUSION 97
6.3 MESSUNGEN MIT INTERDIGITALKONDENSATOREN ZUR 1-SEITIGEN DIFFUSION 108
6.4 1-SEITIGE DIFFUSION AN POLYMERSCHICHTSYSTEMEN 116
7 VERGLEICH DER ERGEBNISSE UND DISKUSSION 124
8 AUSBLICK 133
9 ABKUERZUNGEN 136
10 ABBILDUNGSVERZEICHNIS 137
11 TABELLENVERZEICHNIS 148
12 LITERATUR 150
XI
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