Entwicklung und Charakterisierung von Hochleistungslaserdioden bei 980 nm Wellenlänge:
Gespeichert in:
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2011 [erschienen] 2012
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INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG 1
2 ALLGEMEINE THEORETISCHE GRUNDLAGEN 5
2.1 GRUNDLAGEN VON HALBLEITERLASEM 5
2.1.1 OPTISCHE INTERBANDUEBERGAENGE 6
2.1.2 DAS AKTIVE MEDIUM 8
2.1.3 MATERIALVERSTAERKUNG 9
2.1.4 RATENGLEICHUNGEN UND OPTISCHE VERSTAERKUNG 10
2.2 AUFBAU VON HALBLEITERLASEM 13
2.2.1 VERTIKALSTRUKTUR 13
2.2.2 DER STEGWELLENLEITER 15
2.2.3 DER RESONATOR 15
2.3 LASER MIT VERTEILTER RUECKKOPPLUNG 16
2.3.1 INDEXKOPPLUNG 17
2.3.2 VERSTAERKUNGSKOPPLUNG 18
2.3.3 KOMPLEXE KOPPLUNG 18
3 PROZESSIERUNG DER LASERDIODEN 2 1
3.1 WESENTLICHE PROZESSSCHRITTE 21
3.1.1 LITHOGRAPHIE 21
3.1.2 TROCKENAETZEN 22
3.2 PROZESSABLAUF 23
4 CHARAKTERISIERUNG VON HALBLEITERLASERN 27
4.1 LASERKEMILINIEN 27
4.1.1 SPANNUNGS-STRONI-KEUNLINIE 27
4.1.2 LICHTLEISTUNGS-STRONI- KENNLINIE 28
4.1.3 KENNLINIENMESSUNG 29
4.2 LASERSPEKTRUM 30
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IMAGE 2
4.2.1 SPEKTRALE LAGE DER EMISSION 30
4.2.2 SPEKTRENMESSUNG 30
4.3 LASERFERNFELD 31
4.3.1 FERNFELDWINKEL 31
4.3.2 FERNFELDMESSUNG 32
5 HOCHLEISTUNGSLASERDIODEN 3 5
5.1 STANDARD DFB-LASER 35
5.1.1 ALLGEMEINE PARAMETER 35
5.1.2 COD 39
5.2 DER COD-PROZESS 40
5.3 FACETTEN-VERGUETUNG 41
5.4 REDUZIERUNG DER LEISTUNGSDICHTE 4 3
5.4.1 OPTIMIERUNG DER TRANSVERSALEN LASERSTRUKTUR 45
5.4.2 OPTIMIERUNG DER LATERALEN LASERSTRUKTUR 51
5.5 PROZESSIERUNG VON LASERN MIT TAPERSTRUKTUREN 57
5.6 LASER MIT ASYMMETRISCHEM WELLENLEITER 59
5.6.1 ALLGEMEINE PARAMETER 59
5.6.2 COD 61
5.6.3 FERNFELDER 62
5.7 LASER MIT ASYMMETRISCHEM WELLENLEITER UND TAPERSTRUKTUREN 64
5.7.1 ALLGEMEINE PARAMETER 64
5.7.2 COD 68
5.7.3 FERNFELDER 73
6 ZUSAMMENFASSUNG - SUMMARY 77
A LASERFERNFELDER 8 3
B PROBENAUFBAU 8 5
C SIMULATIONSPROGRAMM 89
VEROEFFENTLICHUNGSVERZEICHNIS 9 5
LITERATURVERZEICHNIS 99
DANKSAGUNG 107
IMAGE 3
LEBENSLAUF 109
VERSICHERUNG AN EIDES S T A T T 110
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