Entwicklung einer einmodigen Wellenleitertechnologie in Dünnglas für die photonische Systemintegration:
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Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Stuttgart
Fraunhofer-Verl.
2012
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IMAGE 1
INHALTSVERZEICHNIS
SYMBOLVERZEICHNIS XI
1 EINLEITUNG 1
2 GRUNDLAGEN DER P H O T O N I S C H E N AUFBAU- U N D
VERBINDUNGSTECHNIK 3
2.1 GRENZEN DER ELEKTRISCHEN SYSTEININTEGRATION 3
2.2 ELEKTROOPTISCHE TRANSCEIVER 7
2.3 OPTISCHE WELLENFUEHRUNG 8
2.4 PHOTONISCHE SYSTEMINTEGRATION 13
2.5 SYSTEMINTEGRATION M I T DIINNGLAS 16
2.6 OPTISCHE WELLENLEITER IN DIINNGLAS MITTELS IONENAUSTAUSCH 30
3 MODELLIERUNG DES THERMISCHEN IONENAUSTAUSCHES FUER DAS P R O Z E S S I
E R E N
V O N E I N M O D I G E N WELLENLEITERN IN D UE N N G L A S 3 3
3.1 DIFFUSIONSTHEORIE IN GLAS 33
3.2 EXPERIMENTELLE BESTIMMUNG D E R DIFFUSIONSPARAMETER ZUR
MODELLERSTELLUNG . 40
3.3 ENTWICKLUNG EINES FEM-WCLLENLCITERMODELLS 51
3.4 E N T W U R F EINMODIGER WELLENLEITER IN DIINNGLAS 58
4 ENTWICKLUNG EINER WELLENLEITERTECHNOLOGIE IN D UE N N G L A S 6 3
4.1 PROZESSENTWICKLUNG FUER WAFERFORMAT 63
4.2 PROZESSKONZEPT FUER PLATINENFORMAT 68
5 EXPERIMENTELLE CHARAKTERISIERUNG V O N E I N M O D I G E N
WELLENLEITERN IN D UE N N
GLAS U N D VERGLEICH M I T D E N THEORETISCHEN W E R T E N 71
5.1 FESTLEGUNG DER EXPERIMENTELLEN VERSUCHE 71
5.2 CHARAKTERISIERUNG DER DIFFUSIONSPROFILE 74
5.3 CHARAKTERISIERUNG DER WELLENLEITEREIGENSCHAFTEN 78
IX
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IMAGE 2
INHALTSVERZEICHNIS
5.4 VERGLEICH M I T DER THEORIE 85
6 A N W E N D U N G DER ENTWICKELTEN WELLENLEITERTECHNOLOGIE IN DER P H
O T O N I S C H E N
S Y S T E M I N T E G R A T I O N 91
6.1 KOPPELCHARAKTERISTIK D E R EINIUODIGEN WELLENLEITER 91
6.2 PASSIVE OPTISCHE WELLENLEITERSCHALT,UNGEN 95
6.3 PROZCSSKOMPATIBILIFCAET UND ZUVERLAESSIGKEIT, 98
7 AUSBLICK 1 0 3
LITERATURVERZEICHNIS X V
PUBLIKATIONSVERZEICHNIS XXVII |
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