Ebner, C. (2012). Abscheidung und Charakterisierung funktionaler PECVD-Si3N4 und –SiO2 Dünnschichten.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Ebner, Christian. Abscheidung Und Charakterisierung Funktionaler PECVD-Si3N4 Und –SiO2 Dünnschichten. Wildau, 2012.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Ebner, Christian. Abscheidung Und Charakterisierung Funktionaler PECVD-Si3N4 Und –SiO2 Dünnschichten. 2012.
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