3D-probing system for micro-components:
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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Liebrich, Thomas (VerfasserIn)
Format: Abschlussarbeit Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Düsseldorf VDI-Verl. 2012
Ausgabe:Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:Fortschrittberichte VDI Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik ; 1212
Schlagworte:
Beschreibung:XVI, 128 S. Ill., graph. Darst. 21 cm
ISBN:9783185212086

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