Bestimmung des Haftkoeffizienten niederenergetischer Kohlenwasserstoffionen:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
München
Verl. Dr. Hut
2011
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Werkstoffwissenschaften
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| Schlagworte: | |
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| Beschreibung: | 141 S. graph. Darst. 210 mm x 148 mm, 237 g |
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IMAGE 1
INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG 5
1.1 GRUNDLAGEN : 8
1.2 ZIEL DER ARBEIT 15
2 EXPERIMENT 17
2.1 ANFORDERUNGEN 17
2.2 VERSUCHSAUFBAU 18
2.2.1 HAUPTKAMMER 19
2.2.2 IONENKANONE 22
2.2.3 SCHLEUSENKAMMER 30
2.2.4 LEISTUNGSDATEN DER IONENKANONE 31
2.3 RF-QUELLE 32
2.3.1 PRINZIP 33
2.3.2 KONSTRUKTION 33
2.3.3 EXTRAKTIONSOPTIK 36
2.3.4 BETRIEBSPARAMETER 40
2.3.5 EINBAU AN MAJESTIX 41
2.4 VERBESSERUNGEN AN DER IONENOPTIK 42
2.4.1 ELEKTRIK 42
2.4.2 SIMULATION 43
2.5 OPTIMIERUNG DER FILAMENTQUELLE 46
2.5.1 AUSFALLBILDER 46
2.5.2 FILAMENTSTROM UND ANODENSPANNUNG 47
2.5.3 FILAMENTPOSITION 48
2.5.4 GASMISCHUNG 49
2.5.5 OPTIMIERUNG DER WARTUNGSVORGAENGE 53
2.5.6 ZUSAETZLICHE MASSNAHMEN 54
2.6 OPTIMIERUNGEN WAEHREND DES BETRIEBES 55
2.6.1 MASSENKALIBRIERUNG DES GESCHWINDIGKEITSFILTERS 55 2.6.2
STRAHLOPTIMIERUNG 57
2.7 VERSUCHSDURCHFUEHRUNG 58
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN HTTP://D-NB.INFO/1018251022
DIGITALISIERT DURCH
IMAGE 2
4 INHALTSVERZEICHNIS
2.7.1 VORBESCHICHTUNG DER PROBEN 58
2.7.2 SCHICHTVERMESSUNG 60
2.7.3 EXPOSITION IN MAJESTIX 61
2.7.4 ZWEITE VERMESSUNG 61
2.8 AUSWERTUNG 62
2.8.1 STROMMESSUNG 63
2.8.2 AUSWERTUNG DER ELLIPSOMETRIEMESSUNGEN 65 2.8.3 BESTIMMUNG DER
KOHLENSTOFFDICHTE 70
2.8.4 BESTIMMUNG DER SCHICHTDICKE 71
2.8.5 HAFTKOEFFIZIENT 74
2.9 ERGEBNISSE 75
3 SIMULATIONSRECHNUNGEN 81
3.1 MOLEKULARDYNAMIK 82
3.1.1 PRINZIP 82
3.1.2 VORBEREITUNG 86
3.1.3 ABLAUF DER SIMULATION 89
3.1.4 AUSWERTUNG 91
3.1.5 ERGEBNISSE 94
3.1.6 INTERPOLATION 102
3.2 ZWEIERSTOSSAPPROXIMATION 105
3.2.1 PRINZIP 106
3.2.2 AUSWERTUNG 108
3.2.3 ERGEBNISSE 109
4 METHODENVERGLEICH UND SCHLUSSFOLGERUNGEN 111
4.1 VERGLEICH VON SIMULATION UND EXPERIMENT 111
4.2 VERGLEICH MIT DEN LITERATURWERTEN 113
4.3 VERGLEICH MIT ZWEIERSTOSSAPPROXIMATION 115
4.4 ANWENDUNG AUF ITER 116
5 ZUSAMMENFASSUNG 119
A INTERPOLATIONSPARAMETER 121 |
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