Charakterisierung modifizierter Negativresiste für die Röntgentiefenlithographie:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
2011
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext kostenfrei |
| Beschreibung: | VI, 148 S. Ill., graph. Darst. |
| DOI: | 10.14279/depositonce-3052 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000zc 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV039767896 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20160216 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 111219s2011 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 015 | |a 12,O01 |2 dnb | ||
| 035 | |a (OCoLC)918236370 | ||
| 035 | |a (DE-599)DNB1018072748 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-83 | ||
| 100 | 1 | |a Lemke, Stephanie |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Charakterisierung modifizierter Negativresiste für die Röntgentiefenlithographie |c Stephanie Lemke |
| 246 | 1 | 3 | |a Characterization of modified negative resists for deep X-ray lithography |
| 264 | 1 | |c 2011 | |
| 300 | |a VI, 148 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Berlin, Techn. Univ., Diss., 2011 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Röntgentiefenlithographie |0 (DE-588)4602774-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Negativresist |0 (DE-588)4784248-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Negativresist |0 (DE-588)4784248-9 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Röntgentiefenlithographie |0 (DE-588)4602774-9 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 776 | 0 | 8 | |i Erscheint auch als |n Online-Ausgabe |o urn:nbn:de:kobv:83-opus-33440 |
| 856 | 4 | 1 | |u https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:kobv:83-opus-33440 |x Resolving-System |z kostenfrei |3 Volltext |
| 856 | 4 | |u https://doi.org/10.14279/depositonce-3052 |x Verlag |z kostenfrei | |
| 912 | |a ebook | ||
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-024628945 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804148682669424640 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Lemke, Stephanie |
| author_facet | Lemke, Stephanie |
| author_role | aut |
| author_sort | Lemke, Stephanie |
| author_variant | s l sl |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV039767896 |
| collection | ebook |
| ctrlnum | (OCoLC)918236370 (DE-599)DNB1018072748 |
| doi_str_mv | 10.14279/depositonce-3052 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01491nam a2200397zc 4500</leader><controlfield tag="001">BV039767896</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20160216 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">111219s2011 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="015" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">12,O01</subfield><subfield code="2">dnb</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)918236370</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)DNB1018072748</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Lemke, Stephanie</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Charakterisierung modifizierter Negativresiste für die Röntgentiefenlithographie</subfield><subfield code="c">Stephanie Lemke</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Characterization of modified negative resists for deep X-ray lithography</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">2011</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">VI, 148 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Berlin, Techn. Univ., Diss., 2011</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Röntgentiefenlithographie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4602774-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Negativresist</subfield><subfield code="0">(DE-588)4784248-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Negativresist</subfield><subfield code="0">(DE-588)4784248-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Röntgentiefenlithographie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4602774-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="776" ind1="0" ind2="8"><subfield code="i">Erscheint auch als</subfield><subfield code="n">Online-Ausgabe</subfield><subfield code="o">urn:nbn:de:kobv:83-opus-33440</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="1"><subfield code="u">https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:kobv:83-opus-33440</subfield><subfield code="x">Resolving-System</subfield><subfield code="z">kostenfrei</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.14279/depositonce-3052</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="z">kostenfrei</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ebook</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-024628945</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV039767896 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-10T00:11:01Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-024628945 |
| oclc_num | 918236370 |
| open_access_boolean | 1 |
| owner | DE-83 |
| owner_facet | DE-83 |
| physical | VI, 148 S. Ill., graph. Darst. |
| psigel | ebook |
| publishDate | 2011 |
| publishDateSearch | 2011 |
| publishDateSort | 2011 |
| record_format | marc |
| spelling | Lemke, Stephanie Verfasser aut Charakterisierung modifizierter Negativresiste für die Röntgentiefenlithographie Stephanie Lemke Characterization of modified negative resists for deep X-ray lithography 2011 VI, 148 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Berlin, Techn. Univ., Diss., 2011 Röntgentiefenlithographie (DE-588)4602774-9 gnd rswk-swf Negativresist (DE-588)4784248-9 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Negativresist (DE-588)4784248-9 s Röntgentiefenlithographie (DE-588)4602774-9 s DE-604 Erscheint auch als Online-Ausgabe urn:nbn:de:kobv:83-opus-33440 https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:kobv:83-opus-33440 Resolving-System kostenfrei Volltext https://doi.org/10.14279/depositonce-3052 Verlag kostenfrei |
| spellingShingle | Lemke, Stephanie Charakterisierung modifizierter Negativresiste für die Röntgentiefenlithographie Röntgentiefenlithographie (DE-588)4602774-9 gnd Negativresist (DE-588)4784248-9 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4602774-9 (DE-588)4784248-9 (DE-588)4113937-9 |
| title | Charakterisierung modifizierter Negativresiste für die Röntgentiefenlithographie |
| title_alt | Characterization of modified negative resists for deep X-ray lithography |
| title_auth | Charakterisierung modifizierter Negativresiste für die Röntgentiefenlithographie |
| title_exact_search | Charakterisierung modifizierter Negativresiste für die Röntgentiefenlithographie |
| title_full | Charakterisierung modifizierter Negativresiste für die Röntgentiefenlithographie Stephanie Lemke |
| title_fullStr | Charakterisierung modifizierter Negativresiste für die Röntgentiefenlithographie Stephanie Lemke |
| title_full_unstemmed | Charakterisierung modifizierter Negativresiste für die Röntgentiefenlithographie Stephanie Lemke |
| title_short | Charakterisierung modifizierter Negativresiste für die Röntgentiefenlithographie |
| title_sort | charakterisierung modifizierter negativresiste fur die rontgentiefenlithographie |
| topic | Röntgentiefenlithographie (DE-588)4602774-9 gnd Negativresist (DE-588)4784248-9 gnd |
| topic_facet | Röntgentiefenlithographie Negativresist Hochschulschrift |
| url | https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:kobv:83-opus-33440 https://doi.org/10.14279/depositonce-3052 |
| work_keys_str_mv | AT lemkestephanie charakterisierungmodifizierternegativresistefurdierontgentiefenlithographie AT lemkestephanie characterizationofmodifiednegativeresistsfordeepxraylithography |