Mikroskopische phasenmessende Deflektometrie:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Erlangen-Nürnberg
Erlangen Scientific Press
2011
|
| Series: | Progress in modern optics
40 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Physical Description: | 80 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 9783941741157 |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV039721313 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20120711 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 111123s2011 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 020 | |a 9783941741157 |c kart. |9 978-3-941741-15-7 | ||
| 035 | |a (OCoLC)767791211 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV039721313 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-29T |a DE-29 |a DE-12 |a DE-91 | ||
| 100 | 1 | |a Richter, Claus |d 1978- |e Verfasser |0 (DE-588)1017132976 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Mikroskopische phasenmessende Deflektometrie |c Claus Richter |
| 264 | 1 | |a Erlangen-Nürnberg |b Erlangen Scientific Press |c 2011 | |
| 300 | |a 80 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Progress in modern optics |v 40 | |
| 502 | |a Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2011 | ||
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 830 | 0 | |a Progress in modern optics |v 40 |w (DE-604)BV019410499 |9 40 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=024569394&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-024569394 | ||
Record in the Search Index
| _version_ | 1804148600053170176 |
|---|---|
| adam_text | IMAGE 1
INHALTSVERZEICHNIS
0 SUMMARY 1
1 AUFGABENSTELLUNG UND ZUSAMMENFASSUNG DER ERGEBNISSE 3
2 STAND DER TECHNIK 5
2.1 AUFLICHTMIKROSKOP 5
2.2 RASTERELEKTRONENMIKROSKOP 8
3 PHASENMESSENDE DEFLEKTOMETRIE - STANDARDAUFBAU 1 1
3.1 SENSORAUFBAU 11
3.2 SIGNALGENERIERUNG 12
3.3 KALIBRIERUNG 12
3.4 GRENZEN DER MESSGENAUIGKEIT 13
4 MIKROSKOPISCHE DEFLEKTOMETRIE 17
4.1 SENSORKONZEPT 17
4.2 SIGNALENTSTEHUNG 17
4.3 ABHAENGIGKEITEN UND GRENZEN 22
5 ERWEITERUNG DER SCHAERFENTIEFE 3 3
5.1 STRUKTURIERTE BELEUCHTUNG ZUR FOKUSSUCHE 34
5.2 EINFLUSSFAKTOREN FUER DIE MESSUNSICHERHEIT 37
5.3 ERGEBNISSE FOKUSSUCHE ALS 3D-SENSOR 40
6 LABORAUFBAU 4 3
6.1 BELEUCHTUNGSSTRAHLENGANG 44
6.2 ALTERNATIVE GITTERERZEUGUNG 45
7 MESSABLAUF 4 9
7.1 SIGNALAUSWERTUNG 50
8 KALIBRIERUNG 5 9
8.1 ANWENDBARKEIT STANDARD-KALIBRIERUNG AUF DEN MIKROPMD-AUFBAU 59
8.2 MODELLFREIE KALIBRIERUNG 60
8.3 MODELLBASIERTE KALIBRIERUNG 61
9 MESSBEISPIELE 7 1
9.1 SPIEGEL 71
9.2 DEFINIERT VERKIPPTER SPIEGEL 72
9.3 STUFENNORMAL 74
9.4 WELLENLEITER 75
10 AUSBLICK 7 7
LITERATURVERZEICHNIS 7 9
HTTP://D-NB.INFO/1022342347
|
| any_adam_object | 1 |
| author | Richter, Claus 1978- |
| author_GND | (DE-588)1017132976 |
| author_facet | Richter, Claus 1978- |
| author_role | aut |
| author_sort | Richter, Claus 1978- |
| author_variant | c r cr |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV039721313 |
| ctrlnum | (OCoLC)767791211 (DE-599)BVBBV039721313 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01287nam a2200313 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV039721313</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20120711 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">111123s2011 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783941741157</subfield><subfield code="c">kart.</subfield><subfield code="9">978-3-941741-15-7</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)767791211</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV039721313</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Richter, Claus</subfield><subfield code="d">1978-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)1017132976</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Mikroskopische phasenmessende Deflektometrie</subfield><subfield code="c">Claus Richter</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Erlangen-Nürnberg</subfield><subfield code="b">Erlangen Scientific Press</subfield><subfield code="c">2011</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">80 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Progress in modern optics</subfield><subfield code="v">40</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2011</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Progress in modern optics</subfield><subfield code="v">40</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV019410499</subfield><subfield code="9">40</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=024569394&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-024569394</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV039721313 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-10T00:09:42Z |
| institution | BVB |
| isbn | 9783941741157 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-024569394 |
| oclc_num | 767791211 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29T DE-29 DE-12 DE-91 DE-BY-TUM |
| owner_facet | DE-29T DE-29 DE-12 DE-91 DE-BY-TUM |
| physical | 80 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 2011 |
| publishDateSearch | 2011 |
| publishDateSort | 2011 |
| publisher | Erlangen Scientific Press |
| record_format | marc |
| series | Progress in modern optics |
| series2 | Progress in modern optics |
| spelling | Richter, Claus 1978- Verfasser (DE-588)1017132976 aut Mikroskopische phasenmessende Deflektometrie Claus Richter Erlangen-Nürnberg Erlangen Scientific Press 2011 80 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Progress in modern optics 40 Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2011 (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Progress in modern optics 40 (DE-604)BV019410499 40 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=024569394&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Richter, Claus 1978- Mikroskopische phasenmessende Deflektometrie Progress in modern optics |
| subject_GND | (DE-588)4113937-9 |
| title | Mikroskopische phasenmessende Deflektometrie |
| title_auth | Mikroskopische phasenmessende Deflektometrie |
| title_exact_search | Mikroskopische phasenmessende Deflektometrie |
| title_full | Mikroskopische phasenmessende Deflektometrie Claus Richter |
| title_fullStr | Mikroskopische phasenmessende Deflektometrie Claus Richter |
| title_full_unstemmed | Mikroskopische phasenmessende Deflektometrie Claus Richter |
| title_short | Mikroskopische phasenmessende Deflektometrie |
| title_sort | mikroskopische phasenmessende deflektometrie |
| topic_facet | Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=024569394&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV019410499 |
| work_keys_str_mv | AT richterclaus mikroskopischephasenmessendedeflektometrie |