Mikroskopische phasenmessende Deflektometrie:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Erlangen-Nürnberg
Erlangen Scientific Press
2011
|
| Schriftenreihe: | Progress in modern optics
40 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 80 S. Ill., graph. Darst. |
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INHALTSVERZEICHNIS
0 SUMMARY 1
1 AUFGABENSTELLUNG UND ZUSAMMENFASSUNG DER ERGEBNISSE 3
2 STAND DER TECHNIK 5
2.1 AUFLICHTMIKROSKOP 5
2.2 RASTERELEKTRONENMIKROSKOP 8
3 PHASENMESSENDE DEFLEKTOMETRIE - STANDARDAUFBAU 1 1
3.1 SENSORAUFBAU 11
3.2 SIGNALGENERIERUNG 12
3.3 KALIBRIERUNG 12
3.4 GRENZEN DER MESSGENAUIGKEIT 13
4 MIKROSKOPISCHE DEFLEKTOMETRIE 17
4.1 SENSORKONZEPT 17
4.2 SIGNALENTSTEHUNG 17
4.3 ABHAENGIGKEITEN UND GRENZEN 22
5 ERWEITERUNG DER SCHAERFENTIEFE 3 3
5.1 STRUKTURIERTE BELEUCHTUNG ZUR FOKUSSUCHE 34
5.2 EINFLUSSFAKTOREN FUER DIE MESSUNSICHERHEIT 37
5.3 ERGEBNISSE FOKUSSUCHE ALS 3D-SENSOR 40
6 LABORAUFBAU 4 3
6.1 BELEUCHTUNGSSTRAHLENGANG 44
6.2 ALTERNATIVE GITTERERZEUGUNG 45
7 MESSABLAUF 4 9
7.1 SIGNALAUSWERTUNG 50
8 KALIBRIERUNG 5 9
8.1 ANWENDBARKEIT STANDARD-KALIBRIERUNG AUF DEN MIKROPMD-AUFBAU 59
8.2 MODELLFREIE KALIBRIERUNG 60
8.3 MODELLBASIERTE KALIBRIERUNG 61
9 MESSBEISPIELE 7 1
9.1 SPIEGEL 71
9.2 DEFINIERT VERKIPPTER SPIEGEL 72
9.3 STUFENNORMAL 74
9.4 WELLENLEITER 75
10 AUSBLICK 7 7
LITERATURVERZEICHNIS 7 9
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