Oberflächenqualitätskontrolle mit winkelaufgelöstem Streulichtmessverfahren:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
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Aachen
Shaker
2011
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| Schriftenreihe: | Berichte aus dem Institut für Mess- und Regelungstechnik der Leibniz Universität Hannover
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INHALTSVERZEICHNIS
KURZFASSUNG ILL
ABSTRACT IV
1 EINLEITUNG 1
2 ZIELSETZUNG 3
3 STAND DER TECHNIK 4
3.1 OBERFLAECHENINESSTECHNIK 4
3.1.1 TAKTILE MESSTECHNIK ZUR ERFASSUNG DER FORM UND TOPOGRAPHIE 6
3.1.2 OPTISCHE MESSTECHNIK ZUR ERFASSUNG TECHNISCHER OBERFLAECHEN 9
3.1.3 PHYSIKALISCHE GRENZE FUER DIE ANWENDUNG OPTISCHER MESSMETHODEN 12
3.1.4 FRESNELSCHE REFLEXION AN GLATTEN METALLISCHEN OBERFLAECHEN 16
3.1.5 MODELLIERUNG VON LICHTSTREUUNG AN DER RAUEN OBERFLAECHEN 18
3.2 MESSDATENAUSWERTUNG ZUR CHARAKTERISIERUNG TECHNISCHER OBERFLAECHEN 20
3.2.1 KLASSISCHE PROFILORIENTIERTE 2D-TASTSCHNITTVERFAHREN 20
3.2.2 UEBERGANG AUF DIE NEUARTIGEN 3D-OBERFLAECHENPARAMETER 30
3.2.3 EINPASSVERFAHREN 37
3.3 KOORDINATENMESSGERAET (KMG) 37
4 UEBERSICHT OPTISCHER MESSVERFAHREN 39
4.1 WEISSLICHTINTERFEROMETER 39
4.2 KONFOKALES WEISSLICHTMIKROSKOP 42
4.3 KONFOKAL CHROMATISCHER SENSOR 44
4.4 STREULICHTSENSOR 49
4.4.1 KENNGROESSEN ZUR BESCHREIBUNG VON STREUWINKELVERTEILUNGSKURVEN 51
4.4.2 FORMREKONSTRUKTION MITHILFE DES M-WERTES 53
4.4.3 TECHNISCHE PARAMETER DES STREULICHTSENSORS *OS 500 54
5 FORMMESSUNG UND DETEKTION STOCHASTISEHER STRUKTUREN 56
5.1 STOCHASTISCHE OBERFLAECHENBESCHAEDIGUNGEN AUS DER PRAXIS 56
V
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN HTTP://D-NB.INFO/1013044827
DIGITALISIERT DURCH
IMAGE 2
5.2 NACHBILDUNG STOCHASTISCHER STRUKTUREN 58
5.2.1 DELLEN 59
5.2.2 KRATZER 59
5.3 ENTWICKLUNG EINES MULTISENSORSYSTEMS ZUR ERFASSUNG STOCHASTISCHER
STRUKTUREN.... 61
5.3.1 AUSRUESTUNG DES KOORDINATENMESSGERAETES MIT SENSOREN 63
5.3.2 KOMMUNIKATIONSSCHEMA 63
5.3.3 MESSVERLAUF 64
5.3.4 OBERFLAECHENMESSUNG MIT DEM STREULICHTSENSOR 65
5.3.5 TOPOGRAPHIEREKONSTRUKTION AUS DEN M-WERTEN DES STREULICHTSENSORS
66
5.3.6 SPURENDETEKTION DURCH DIE GESAMTINTENSITAET DES STREULICHTSENSORS
69
5.3.7 DETEKTION VON DEFEKTEN MIT DER VARIANZ DER STREUWINKELVERTEILUNG A
Q 70
5.3.8 ERFASSUNG DER MIKROTOPOGRAPHIE MIT EINEM CHROMATISCHEN SENSOR 72
6 WELLIGKEITS- UND RAUHEITSCHARAKTERISIERUNG 76
6. 1 EINFLUSS PERIODISCHER STRUKTUREN AUF DIE
STREULICHTVERTEILUNGSKURVEN 76
6.1.1 AUFBAU EINES NUMMERISCHEN MODELLS 77
6.1.2 EXPERIMENTELLE MESSUNGEN DER LICHTSTREUUNG AN PERIODISCHEN
OBERFLAECHEN.... 83
6.2 CHARAKTERISIERUNG STOCHASTISCHER RAUHEIT 96
6.3 PRAKTISCHE ANWENDUNG 104
7 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 109
8 LITERATURVERZEICHNIS 111
VI
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