4. Fachtagung Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik 2011: Messprinzipien - Mess geräte - Anwendungen ; Erlangen, 25. und 26. Oktober 2011
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Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
2011
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Ausgabe: | Nichtred. Ms.-Dr. |
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2133 |
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