Pinchplasma für die Mikroskopie mit weicher Röntgenstrahlung:
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
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Format: | Abschlussarbeit Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2011
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Schriftenreihe: | Berichte aus dem Apparatebau
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Schlagworte: | |
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INHALT
1. EINLEITUNG 2. MIKROSKOPIE MIT WEICHER ROENTGENSTRAHLUNG 2.1.
SPEKTRALBEREICH DES WASSERFENSTERS 2.2. OPTIKEN FUER XUV UND WEICHE
ROENTGENSTRAHLUNG 2.2.1. MULTILAYER
2.2.2. OPTIKEN IM STREIFENDEN EINFALL
2.2.3. ZONENPLATTEN
2.3. ERFORDERLICHE BELICHTUNGSDOSIS
2.4. ROENTGENMIKROSKOPE 2.4.1. TRANSMISSIONSMIKROSKOPE MIT KOMPAKTER
STRAHLUNGSQUELLE
2.4.2. KONDENSOR 2.5. STRAHLUNGSQUELLEN
2.5.1. SYNCHROTRON 2.5.2. LASERINDUZIERTE PLASMEN
2.5.3. ENTLADUNGSPLASMEN 2.5.4. WEITERE STRAHLUNGSQUELLEN
2.6. SPEKTRALFILTER 2.7. ZUSAMMENFASSUNG
3. PINCHPLASMAQUELLE
3.1. PRINZIP DER ENTLADUNG 3.2. ANLAGENKONZEPT 3.2.1. ELEKTRODENSYSTEM
3.2.2. KONDENSATORBANK
3.2.3. TRIGGEAING
3.2.4. LADEGERAET
3.2.5. ELEKTRISCHER SCHWINGKREIS
3.3. ZUSAMMENFASSUNG
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BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN HTTP://D-NB.INFO/1010764799
DIGITALISIERT DURCH
IMAGE 2
4. CHARAKTERISIERUNG DER ENTLADUNG 39
4.1. EMISSIONSSPEKTRUM 39
4.1.1. BESTIMMUNG DER LINIENBREITE 41
4.2. QUELLGROESSE 42
4.3. STRAHLSTAERKE UND STRAHLDICHTE 43
4.4. ZUSAMMENFASSUNG 45
5. SKALIERUNG DER STRAHLDICHTE PRO PULS 47
5.1. ABSCHAETZUNG DER MAXIMAL ERZIELBAREN STRAHLDICHTE 47
5.2. DYNAMIK DER ENTLADUNG NACH DEM SCHNEEPFLUGMODELL 49
5.3. KOMPRESSIONSVERHALTEN DES ARBEITSGASES 55
5.4. EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE 57
5.5. ZUSAMMENFASSUNG 62
6. SKALIERUNG DER REPETITIONSRATE 65
6.1. REKOMBINATION DES PLASMAS 65
6.2. EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE 66
6.2.1. ERREICHTE REPETITIONSRATE 66
6.2.2. SKALIERUNG DER STRAHLDICHTE 68
6.3. ZUSAMMENFASSUNG 71
7. QUELLE-KOLLEKTORMODUL 73
7.1. KOLLEKTORAUSLEGUNG 73
7.2. CHARAKTERISIERUNG DES KOLLEKTORS 79
7.3. DEBRISMITIGATION UND VAKUUMTRENNUNG 80
7.4. ZUSAMMENFASSUNG 86
8. MIKROSKOPISCHE AUFNAHMEN 89
8.1. ABBILDUNGSLEISTUNG 90
8.2. BELICHTUNGSZEITEN 94
8.3. ANWENDUNGEN 97
8.4. ZUSAMMENFASSUNG 98
9. ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 99
IMAGE 3
A ANHANG 101
A1. DIAGNOSTIK FUER DEN SPEKTRALBEREICH DES WASSERFENSTERS 101
A1.1. DIODE ZUR ABSOLUTMESSUNG DER STRAHLSTAERKE 101
A1.2. DIODE FUER ZEITAUFGELOESTE MESSUNGEN 103
A1.3. CCD 103
A1.4. LOCHKAMERA 104
A1.5. FLATFIELD-SPEKTROGRAPH 105
A1.6. ORZ-SPEKTROGRAPH 107
A1.7. ORTSAUFLOESENDER DETEKTOR FUER GROSSE STRAHLUNGSFLUESSE 109
A2. EINFLUSS DES SPEKTRUMS AUF DIE MODULATIONSTRANSFERFUNKTION 113
A3. EMISSIONSSPEKTREN WEITERER ARBEITSGASE 117
A4. VERZEICHNIS DER FORMELZEICHEN 121
A5. LITERATURVERZEICHNIS 125
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