Modulares Steuerungskonzept für integrierte Messtechnik in der Halbleiterfertigung am Beispiel einer Mehrkammerprozessanlage:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2011
|
| Schriftenreihe: | Erlanger Berichte Mikroelektronik
2011,3 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | IV, 164 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 9783844002645 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV039555581 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20110929 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 110831s2011 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 015 | |a 11,N32 |2 dnb | ||
| 016 | 7 | |a 1014094526 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 9783844002645 |c kart. : EUR 48.80 (DE), EUR 48.80 (AT), sfr 97.60 (freier Pr.) |9 978-3-8440-0264-5 | ||
| 035 | |a (OCoLC)750994649 | ||
| 035 | |a (DE-599)DNB1014094526 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-29 |a DE-83 |a DE-29T | ||
| 082 | 0 | |a 629.895 |2 22//ger | |
| 084 | |a ZQ 9920 |0 (DE-625)158193: |2 rvk | ||
| 084 | |a 621.3 |2 sdnb | ||
| 084 | |a 670 |2 sdnb | ||
| 084 | |a 650 |2 sdnb | ||
| 100 | 1 | |a Schellenberger, Martin |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Modulares Steuerungskonzept für integrierte Messtechnik in der Halbleiterfertigung am Beispiel einer Mehrkammerprozessanlage |c Martin Schellenberger |
| 264 | 1 | |a Aachen |b Shaker |c 2011 | |
| 300 | |a IV, 164 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Erlanger Berichte Mikroelektronik |v 2011,3 | |
| 502 | |a Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2011 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Modulares Softwaresystem |0 (DE-588)4251881-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4158814-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Programmierbare Steuerung |0 (DE-588)4175852-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Messtechnik |0 (DE-588)4114575-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Prozessautomation |0 (DE-588)4176053-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mehrstufenprozess |0 (DE-588)4289349-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Integrierter Sensor |0 (DE-588)4235815-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Systemplattform |0 (DE-588)4674460-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Softwarearchitektur |0 (DE-588)4121677-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Prozessüberwachung |0 (DE-588)4133922-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4158814-9 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Prozessautomation |0 (DE-588)4176053-0 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Prozessüberwachung |0 (DE-588)4133922-8 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Messtechnik |0 (DE-588)4114575-6 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Integrierter Sensor |0 (DE-588)4235815-2 |D s |
| 689 | 0 | 5 | |a Programmierbare Steuerung |0 (DE-588)4175852-3 |D s |
| 689 | 0 | 6 | |a Modulares Softwaresystem |0 (DE-588)4251881-7 |D s |
| 689 | 0 | 7 | |a Softwarearchitektur |0 (DE-588)4121677-5 |D s |
| 689 | 0 | 8 | |a Systemplattform |0 (DE-588)4674460-5 |D s |
| 689 | 0 | 9 | |a Mehrstufenprozess |0 (DE-588)4289349-5 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Erlanger Berichte Mikroelektronik |v 2011,3 |w (DE-604)BV010300264 |9 2011,3 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=024407374&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-024407374 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804148377695289344 |
|---|---|
| adam_text | IMAGE 1
INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG 1
2 TECHNOLOGISCHE MOTIVATION 5
2.1 AKTUELLE HERAUSFORDERUNGEN IN DER HALBLEITERINDUSTRIE 6
2.2 .AUTOMATISIERTE PROZESSKONTROLLE ALS LOESUNGSANSATZ 10
2.2.1 VERFAHREN DER AUTOMATISIERTEN PROZESSKONTROLLE 13
2.2.2 HERAUSFORDERUNGEN BEI DER ANWENDUNG DER AUTOMATISIERTEN
PROZESSKONTROLLE 17
2.3 MESSTECHNIK ALS BASIS FUER DIE *AUTOMATISIERTE PROZESSKONTROLLE 20
2.4 ANWENDUNG: SCHICHTERZEUGUNG IN EINER MEHRKAMMERPROZESSANLAGE 24
2.4.1 MEHRKAMMERPROZESSANLAGE FUER PROZESSIERUNG UND CHARAKTERISIERUNG 24
2.4.2 SCHICHTERZEUGUNG UND PROZESSKONTROLLE 28
2.4.2.1 TECHNOLOGIE UND EINSATZBEREICHE VON SCHICHTEN MIT HOHER
DIELEKTRIZITAETSZAHL 28
2.4.2.2 TECHNOLOGIE UND EINSATZBEREICHE FERROELEKTRISCHER SCHICHTEN 31
2.4.2.3 HERAUSFORDERUNGEN BEI DER SCHICHTERZEUGUNG 32 2.4.2.4
HERAUSFORDERUNGEN BEI DER PROZESSKONTROLLE 32 2.4.3 VORTEILE DER
ANWENDUNG VON INTEGRIERTER MESSTECHNIK 33
2.4.3.1 BESTIMMUNG DER SCHICHTZUSAMMENSETZUNG 33
2.4.3.2 BESTIMMUNG DER SCHICHTDICKE 34
3 INTEGRIERTE MESSTECHNIK 37
3.1 EINFUEHRUNG IN DIE INTEGRIERTE MESSTECHNIK 38
3.1.1 PARAMETERKATEGORIEN 38
3.1.2 WAHL DES INTEGRATIONSORTES FUER MESSTECHNIK 39
3.1.3 PRINZIPIEN FUER DIE SOFTWARETECHNISCHE ANBINDUNG VON INTEGRIERTER
MESSTECHNIK 41
3.2 UNTERSCHIEDE ZUR STAND-ALONE MESSTECHNIK 42
3.3 KOSTENASPEKTE VON INTEGRIERTER MESSTECHNIK 46
I
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN HTTP://D-NB.INFO/1014094526
DIGITALISIERT DURCH
IMAGE 2
3.4 HERAUSFORDERUNGEN BEI DER INTEGRATION 49
3.4.1 STANDARDISIERUNGSAKTIVITAETEN IN DER HALBLEITERINDUSTRIE 49
3.4.2 DAS OSI-REFERENZMODELL FUER KOMMUNIKATIONSSYSTEME 50
3.4.3 KOMMUNIKATIONSSTANDARDS FUER HALBLEITERFERTIGUNGSGERAETE 54
3.5 LOESUNGSANSAETZE FUER DIE INTEGRATION VON MESSTECHNIK 60
3.5.1 ANSAETZE FUER DIE PHYSIKALISCHE INTEGRATION 60
3.5.2 ANSAETZE FUER DIE SOFTWARETECHNISCHE INTEGRATION 62
4 MODULARES STEUERUNGSKONZEPT FUER DIE INTEGRATION VON MESSTECHNIK 65
4.1 MODULARE MESSTECHNIK 65
4.1.1 PRINZIP MODULARER SYSTEME 65
4.1.2 DEFINITION DER MODULAREN MESSTECHNIK 67
4.1.3 BEWERTUNG DER MODULAREN MESSTECHNIK 69
4.1.3.1 VORTEILE MODULARER MESSTECHNIK 69
4.1.3.2 NACHTEILE MODULARER MESSTECHNIK 71
4.1.3.3 DISKUSSION UND BEWERTUNG 73
4.2 VERGLEICH MIT DEM STAND DER TECHNIK HINSICHTLICH DER INTEGRATION VON
MESSTECHNIK 75
4.3 DIE MODULARE SOFTWAREARCHITEKTUR 78
4.3.1 KRITERIEN FUER DIE ENTWICKLUNG 79
4.3.2 AUFBAU DER MODULAREN SOFTWAREARCHITEKTUR 80
5 REALISIERUNG DES MODULAREN STEUERUNGSKONZEPTS 87
5.1 VORGEHENSWEISE 87
5.1.1 SPEZIFIKATIONSPHASE 88
5.1.2 ENTWURFSPHASE 89
5.1.3 IMPLEMENTIERUNGSPHASE 90
5.1.4 TESTPHASE 91
5.2 DAS MODULARE MESSMODUL EINER MEHRKAMMERPROZESSANLAGE 91
5.2.1 OBERSICHT UEBER DAS MODULARE MESSMODUL 92
5.2.2 UEBERSICHT UEBER DIE MEHRKAMMERPROZESSANLAGE 93
5.2.3 HARDWARE UND SOFTWARE ZUM AUFBAU DER STEUERUNG 94
IMAGE 3
5.2.4 ENTWICKLUNGSUMGEBUNG 101
5.3 SPEZIFIKATION UND PROGRAMMIERUNG DER STEUERUNGSSOFTWARE 101
5.3.1 HARDWARE UND TREIBER 102
5.3.2 STEUEROBJEKTE 104
5.3.3 STEUERGRUPPEN 108
5.3.4 KONTROLLVERFAHREN 110
5.3.5 BEDIENUNG UND STEUERUNG 110
5.3.5.1 BENUTZERSCHNITTSTELLE 111
5.3.5.2 HILFEFUNKTION UND BENACHRICHTIGUNG VON NUTZERN 116 5.3.5.3
KOMMUNIKATIONSSCHNITTSTELLE 118
5.3.6 VERWALTUNG 122
5.4 DISKUSSION DER SOFTWAREARCHITEKTUR 123
5.4.1 AUFWAND FUER DIE IMPLEMENTIERUNG 123
5.4.2 TEST DER NEUEN STEUERUNGSSOFTWARE 126
5.4.3 NUTZUNGSPOTENTIAL 129
6 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 133
6.1 ZUSAMMENFASSUNG 133
6.2 AUSBLICK 136
7 LITERATURVERZEICHNIS 139
8 ABBILDUNGSVERZEICHNIS 147
9 SCHLAGWORTVERZEICHNIS 151
ANHANG - REALISIERUNG IN LAB VIEW-CODE 155
A.L GRUNDSTRUKTUR DES STEUERUNGSPROGRAMMS 156
A.2 DER *OBJECTS -FUNKTIONSBLOCK 157
A.3 CODE-BEISPIEL FUER DAS BELUEFTUNGSVENTIL 159
A.4 CODE-BEISPIEL FUER DAS SIMULIERTE BELUEFTUNGSVENTIL 162
|
| any_adam_object | 1 |
| author | Schellenberger, Martin |
| author_facet | Schellenberger, Martin |
| author_role | aut |
| author_sort | Schellenberger, Martin |
| author_variant | m s ms |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV039555581 |
| classification_rvk | ZQ 9920 |
| ctrlnum | (OCoLC)750994649 (DE-599)DNB1014094526 |
| dewey-full | 629.895 |
| dewey-hundreds | 600 - Technology (Applied sciences) |
| dewey-ones | 629 - Other branches of engineering |
| dewey-raw | 629.895 |
| dewey-search | 629.895 |
| dewey-sort | 3629.895 |
| dewey-tens | 620 - Engineering and allied operations |
| discipline | Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik Wirtschaftswissenschaften Mess-/Steuerungs-/Regelungs-/Automatisierungstechnik / Mechatronik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02927nam a2200649 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV039555581</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20110929 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">110831s2011 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="015" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">11,N32</subfield><subfield code="2">dnb</subfield></datafield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">1014094526</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783844002645</subfield><subfield code="c">kart. : EUR 48.80 (DE), EUR 48.80 (AT), sfr 97.60 (freier Pr.)</subfield><subfield code="9">978-3-8440-0264-5</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)750994649</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)DNB1014094526</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">629.895</subfield><subfield code="2">22//ger</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZQ 9920</subfield><subfield code="0">(DE-625)158193:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">621.3</subfield><subfield code="2">sdnb</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">670</subfield><subfield code="2">sdnb</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">650</subfield><subfield code="2">sdnb</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Schellenberger, Martin</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Modulares Steuerungskonzept für integrierte Messtechnik in der Halbleiterfertigung am Beispiel einer Mehrkammerprozessanlage</subfield><subfield code="c">Martin Schellenberger</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Shaker</subfield><subfield code="c">2011</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">IV, 164 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Erlanger Berichte Mikroelektronik</subfield><subfield code="v">2011,3</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2011</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Modulares Softwaresystem</subfield><subfield code="0">(DE-588)4251881-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158814-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Programmierbare Steuerung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4175852-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Messtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4114575-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Prozessautomation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4176053-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mehrstufenprozess</subfield><subfield code="0">(DE-588)4289349-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Integrierter Sensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4235815-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Systemplattform</subfield><subfield code="0">(DE-588)4674460-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Softwarearchitektur</subfield><subfield code="0">(DE-588)4121677-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Prozessüberwachung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4133922-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158814-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Prozessautomation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4176053-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Prozessüberwachung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4133922-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Messtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4114575-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Integrierter Sensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4235815-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Programmierbare Steuerung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4175852-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="6"><subfield code="a">Modulares Softwaresystem</subfield><subfield code="0">(DE-588)4251881-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Softwarearchitektur</subfield><subfield code="0">(DE-588)4121677-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="8"><subfield code="a">Systemplattform</subfield><subfield code="0">(DE-588)4674460-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="9"><subfield code="a">Mehrstufenprozess</subfield><subfield code="0">(DE-588)4289349-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Erlanger Berichte Mikroelektronik</subfield><subfield code="v">2011,3</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV010300264</subfield><subfield code="9">2011,3</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=024407374&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-024407374</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV039555581 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-10T00:06:10Z |
| institution | BVB |
| isbn | 9783844002645 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-024407374 |
| oclc_num | 750994649 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29 DE-83 DE-29T |
| owner_facet | DE-29 DE-83 DE-29T |
| physical | IV, 164 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 2011 |
| publishDateSearch | 2011 |
| publishDateSort | 2011 |
| publisher | Shaker |
| record_format | marc |
| series | Erlanger Berichte Mikroelektronik |
| series2 | Erlanger Berichte Mikroelektronik |
| spelling | Schellenberger, Martin Verfasser aut Modulares Steuerungskonzept für integrierte Messtechnik in der Halbleiterfertigung am Beispiel einer Mehrkammerprozessanlage Martin Schellenberger Aachen Shaker 2011 IV, 164 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Erlanger Berichte Mikroelektronik 2011,3 Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2011 Modulares Softwaresystem (DE-588)4251881-7 gnd rswk-swf Halbleitertechnologie (DE-588)4158814-9 gnd rswk-swf Programmierbare Steuerung (DE-588)4175852-3 gnd rswk-swf Messtechnik (DE-588)4114575-6 gnd rswk-swf Prozessautomation (DE-588)4176053-0 gnd rswk-swf Mehrstufenprozess (DE-588)4289349-5 gnd rswk-swf Integrierter Sensor (DE-588)4235815-2 gnd rswk-swf Systemplattform (DE-588)4674460-5 gnd rswk-swf Softwarearchitektur (DE-588)4121677-5 gnd rswk-swf Prozessüberwachung (DE-588)4133922-8 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Halbleitertechnologie (DE-588)4158814-9 s Prozessautomation (DE-588)4176053-0 s Prozessüberwachung (DE-588)4133922-8 s Messtechnik (DE-588)4114575-6 s Integrierter Sensor (DE-588)4235815-2 s Programmierbare Steuerung (DE-588)4175852-3 s Modulares Softwaresystem (DE-588)4251881-7 s Softwarearchitektur (DE-588)4121677-5 s Systemplattform (DE-588)4674460-5 s Mehrstufenprozess (DE-588)4289349-5 s DE-604 Erlanger Berichte Mikroelektronik 2011,3 (DE-604)BV010300264 2011,3 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=024407374&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Schellenberger, Martin Modulares Steuerungskonzept für integrierte Messtechnik in der Halbleiterfertigung am Beispiel einer Mehrkammerprozessanlage Erlanger Berichte Mikroelektronik Modulares Softwaresystem (DE-588)4251881-7 gnd Halbleitertechnologie (DE-588)4158814-9 gnd Programmierbare Steuerung (DE-588)4175852-3 gnd Messtechnik (DE-588)4114575-6 gnd Prozessautomation (DE-588)4176053-0 gnd Mehrstufenprozess (DE-588)4289349-5 gnd Integrierter Sensor (DE-588)4235815-2 gnd Systemplattform (DE-588)4674460-5 gnd Softwarearchitektur (DE-588)4121677-5 gnd Prozessüberwachung (DE-588)4133922-8 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4251881-7 (DE-588)4158814-9 (DE-588)4175852-3 (DE-588)4114575-6 (DE-588)4176053-0 (DE-588)4289349-5 (DE-588)4235815-2 (DE-588)4674460-5 (DE-588)4121677-5 (DE-588)4133922-8 (DE-588)4113937-9 |
| title | Modulares Steuerungskonzept für integrierte Messtechnik in der Halbleiterfertigung am Beispiel einer Mehrkammerprozessanlage |
| title_auth | Modulares Steuerungskonzept für integrierte Messtechnik in der Halbleiterfertigung am Beispiel einer Mehrkammerprozessanlage |
| title_exact_search | Modulares Steuerungskonzept für integrierte Messtechnik in der Halbleiterfertigung am Beispiel einer Mehrkammerprozessanlage |
| title_full | Modulares Steuerungskonzept für integrierte Messtechnik in der Halbleiterfertigung am Beispiel einer Mehrkammerprozessanlage Martin Schellenberger |
| title_fullStr | Modulares Steuerungskonzept für integrierte Messtechnik in der Halbleiterfertigung am Beispiel einer Mehrkammerprozessanlage Martin Schellenberger |
| title_full_unstemmed | Modulares Steuerungskonzept für integrierte Messtechnik in der Halbleiterfertigung am Beispiel einer Mehrkammerprozessanlage Martin Schellenberger |
| title_short | Modulares Steuerungskonzept für integrierte Messtechnik in der Halbleiterfertigung am Beispiel einer Mehrkammerprozessanlage |
| title_sort | modulares steuerungskonzept fur integrierte messtechnik in der halbleiterfertigung am beispiel einer mehrkammerprozessanlage |
| topic | Modulares Softwaresystem (DE-588)4251881-7 gnd Halbleitertechnologie (DE-588)4158814-9 gnd Programmierbare Steuerung (DE-588)4175852-3 gnd Messtechnik (DE-588)4114575-6 gnd Prozessautomation (DE-588)4176053-0 gnd Mehrstufenprozess (DE-588)4289349-5 gnd Integrierter Sensor (DE-588)4235815-2 gnd Systemplattform (DE-588)4674460-5 gnd Softwarearchitektur (DE-588)4121677-5 gnd Prozessüberwachung (DE-588)4133922-8 gnd |
| topic_facet | Modulares Softwaresystem Halbleitertechnologie Programmierbare Steuerung Messtechnik Prozessautomation Mehrstufenprozess Integrierter Sensor Systemplattform Softwarearchitektur Prozessüberwachung Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=024407374&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV010300264 |
| work_keys_str_mv | AT schellenbergermartin modularessteuerungskonzeptfurintegriertemesstechnikinderhalbleiterfertigungambeispieleinermehrkammerprozessanlage |