Effizienzsteigerung beim präzisen Oberflächenabtragen mit ultrakurzen Laserpulsen:
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
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Format: | Abschlussarbeit Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2010
|
Schriftenreihe: | Berichte aus der Lasertechnik
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Schlagworte: | |
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Beschreibung: | XVII, 133 S. Ill., graph. Darst. |
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INHALTSVERZEICHNIS
KURZFASSUNG DER ARBEIT V
INHALTSVERZEICHNIS VII
VERZEICHNIS DER SYMBOLE XI
EXTENDED ABSTRACT XV
1 LASER IN DER FERTIGUNGSTECHNIK 1
2 GRUNDLAGEN 3
2.1 VERFAHRENSTECHNIK 3
2.1.1 PHYSIKALISCHE GRUNDLAGEN 4
2.1.1.1 ABSORPTION VON LASERSTRAHLUNG IN METALLEN 4
2.1.1.2 ENERGIEEINKOPPLUNG NACH DEM 2-TEMPERATUR-MODELL 6
2.1.1.3 MATERIALABTRAG BEI ULTRAKURZEN LASERPULSEN 7
2.1.1.4 LASER- UND VERFAHRENSKENNGROESSEN 8
2.1.2 KONKURRIERENDE VERFAHREN 16
2.1.2.1 SPANENDE BEARBEITUNG 16
2.1.2.2 FUNKENEROSION 17
2.1.2.3 ELEKTROCHEMISCHE VERFAHREN 17
2.1.2.4 PHOTOLITHOGRAFISCHE VERFAHREN 18
2.1.2.5 ULTRASCHALLBEARBEITUNGSVERFAHREN (USM) 18
2.1.2.6 LASERMIKROSINTERN 19
2.1.2.7 LASERABTRAGEN 19
2.1.2.8 BEWERTUNG 20
2.2 SYSTEMTECHNIK 22
2.2.1 LASERTECHNIK 22
2.2.1.1 PULSERZEUGUNG 22
2.2.1.2 VERSTAERKERKONZEPTE 25
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN HTTP://D-NB.INFO/1009165518
DIGITALISIERT DURCH
IMAGE 2
VIII INHALTSVERZEICHNIS
2.2.1.3 KOMPONENTEN 28
2.2.1.4 MARKTUEBERBLICK LASERSYSTEME 29
2.2.2 ANLAGENTECHNIK 30
2.2.2.1 ANLAGENBASIS 31
2.2.2.2 STRAHLFUEHRUNGSSYSTEM 31
2.2.2.3 BEWEGUNGSSYSTEME 32
2.2.2.4 SICHERHEITSTECHNIK 33
2.3 MESSTECHNIK 35
2.3.1 LICHTMIKROSKOPISCHE VERMESSUNG 35
2.3.2 OPTISCHE MESSTECHNIK 35
2.3.3 TAKTILE VERFAHREN 36
2.3.4 RASTERKRAFTMIKROSKOPIE 37
2.3.5 RASTERELEKTRONENMIKROSKOP 37
2.3.6 UEBERSICHT 37
3 EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE 39
3.1 POLARISATION 39
3.2 UMGEBUNGSDRUCK 41
3.3 VORSCHUB 41
3.4 WIEDERHOLRATE 42
3.5 STRAHLFORMUNG 46
3.5.1 LINIENFOKUS 47
3.5.2 DIFFRAKTIVE OPTISCHE ELEMENTE (DOE) 53
3.5.3 ERZEUGUNG VON TOPHAT-PROFILEN 56
3.5.4 WOBBEIN - RAEUMLICHE UND ZEITLICHE STRAHLFORMUNG 58
3.6 WELLENLAENGE 66
3.7 GRUNDMATERIAL 79
3.7.1 ABTRAGSCHWELLEN 79
3.7.2 MATERIALGEFUEGE 80
IMAGE 3
IX
4 ANWENDUNGEN 85
4.1 APPLIKATIONSBEISPIELE 85
4.1.1 SOLARTECHNIK 85
4.1.2 AUTOMOTIVE 88
4.1.3 DRUCK-UND PRAEGETECHNIK 90
4.2 WIRTSCHAFTLICHKEIT 93
4.2.1 UEBERBLICK ABTRAGRATEN 93
4.2.2 BEISPIELAPPLIKATION AUSGLEICHSRING 94
4.3 ALTERNATIVE VERFAHRENSTECHNIK 99
4.3.1 DOPPELPULSE 99
4.3.2 WASSERSTRAHLGEFUEHRTE LASERBEARBEITUNG 103
4.3.3 ANSAETZE ZUR PROZESSABSICHERUNG 111
4.4 DISKUSSION 118
5 ZUSAMMENFASSUNG 121
A KENNDATEN VERWENDETER STRAHLQUELLEN 123
LITERATUR- UND QUELLENVERZEICHNIS 125
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