Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie zur Untersuchung von ZrO2-Schichtwachstum im Anfangsstadium:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Dresden
Forschungszentrum Dresden-Rossendorf
2010
|
| Schriftenreihe: | FZD, Forschungszentrum Dresden-Rossendorf Wissenschaftlich-technische Berichte
537 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | 131 S. graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV039159000 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20110816 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 110726s2010 d||| m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)699771923 | ||
| 035 | |a (DE-599)BSZ325184216 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-384 | ||
| 082 | 0 | |a 530 | |
| 084 | |a UP 7550 |0 (DE-625)146434: |2 rvk | ||
| 088 | |a FZD 537 | ||
| 088 | |a FZD-537 | ||
| 100 | 1 | |a Vieluf, Maik |d 1977- |e Verfasser |0 (DE-588)141897317 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie zur Untersuchung von ZrO2-Schichtwachstum im Anfangsstadium |c Maik Vieluf |
| 264 | 1 | |a Dresden |b Forschungszentrum Dresden-Rossendorf |c 2010 | |
| 300 | |a 131 S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Wissenschaftlich-technische Berichte / FZD, Forschungszentrum Dresden-Rossendorf |v 537 | |
| 502 | |a Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2010 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Schichtwachstum |0 (DE-588)4273432-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Diffusion |0 (DE-588)4012277-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dünnschichttechnik |0 (DE-588)4136339-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Aktive Streuspektroskopie |0 (DE-588)4183695-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Rutherford-Streuung |0 (DE-588)4121601-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Dünnschichttechnik |0 (DE-588)4136339-5 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Schichtwachstum |0 (DE-588)4273432-0 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Diffusion |0 (DE-588)4012277-3 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Aktive Streuspektroskopie |0 (DE-588)4183695-9 |D s |
| 689 | 0 | 5 | |a Rutherford-Streuung |0 (DE-588)4121601-5 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 776 | 0 | 8 | |i Erscheint auch als |n Online-Ausgabe |a Vieluf, Maik |t Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie zur Untersuchung von ZrO2-Schichtwachstum im Anfangsstadium |
| 800 | 1 | |a FZD, Forschungszentrum Dresden-Rossendorf |t Wissenschaftlich-technische Berichte |v 537 |w (DE-604)BV013395587 |9 537 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-024176557 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804148006825492480 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Vieluf, Maik 1977- |
| author_GND | (DE-588)141897317 |
| author_facet | Vieluf, Maik 1977- |
| author_role | aut |
| author_sort | Vieluf, Maik 1977- |
| author_variant | m v mv |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV039159000 |
| classification_rvk | UP 7550 |
| ctrlnum | (OCoLC)699771923 (DE-599)BSZ325184216 |
| dewey-full | 530 |
| dewey-hundreds | 500 - Natural sciences and mathematics |
| dewey-ones | 530 - Physics |
| dewey-raw | 530 |
| dewey-search | 530 |
| dewey-sort | 3530 |
| dewey-tens | 530 - Physics |
| discipline | Physik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02165nam a2200505 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV039159000</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20110816 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">110726s2010 d||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)699771923</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BSZ325184216</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-384</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">530</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UP 7550</subfield><subfield code="0">(DE-625)146434:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="088" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FZD 537</subfield></datafield><datafield tag="088" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FZD-537</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Vieluf, Maik</subfield><subfield code="d">1977-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)141897317</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie zur Untersuchung von ZrO2-Schichtwachstum im Anfangsstadium</subfield><subfield code="c">Maik Vieluf</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Dresden</subfield><subfield code="b">Forschungszentrum Dresden-Rossendorf</subfield><subfield code="c">2010</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">131 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Wissenschaftlich-technische Berichte / FZD, Forschungszentrum Dresden-Rossendorf</subfield><subfield code="v">537</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2010</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Schichtwachstum</subfield><subfield code="0">(DE-588)4273432-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Diffusion</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012277-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünnschichttechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136339-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Aktive Streuspektroskopie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4183695-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Rutherford-Streuung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4121601-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Dünnschichttechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136339-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Schichtwachstum</subfield><subfield code="0">(DE-588)4273432-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Diffusion</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012277-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Aktive Streuspektroskopie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4183695-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Rutherford-Streuung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4121601-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="776" ind1="0" ind2="8"><subfield code="i">Erscheint auch als</subfield><subfield code="n">Online-Ausgabe</subfield><subfield code="a">Vieluf, Maik</subfield><subfield code="t">Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie zur Untersuchung von ZrO2-Schichtwachstum im Anfangsstadium</subfield></datafield><datafield tag="800" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">FZD, Forschungszentrum Dresden-Rossendorf</subfield><subfield code="t">Wissenschaftlich-technische Berichte</subfield><subfield code="v">537</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV013395587</subfield><subfield code="9">537</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-024176557</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV039159000 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-10T00:00:17Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-024176557 |
| oclc_num | 699771923 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-384 |
| owner_facet | DE-384 |
| physical | 131 S. graph. Darst. |
| publishDate | 2010 |
| publishDateSearch | 2010 |
| publishDateSort | 2010 |
| publisher | Forschungszentrum Dresden-Rossendorf |
| record_format | marc |
| series | FZD, Forschungszentrum Dresden-Rossendorf Wissenschaftlich-technische Berichte |
| series2 | Wissenschaftlich-technische Berichte / FZD, Forschungszentrum Dresden-Rossendorf |
| spelling | Vieluf, Maik 1977- Verfasser (DE-588)141897317 aut Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie zur Untersuchung von ZrO2-Schichtwachstum im Anfangsstadium Maik Vieluf Dresden Forschungszentrum Dresden-Rossendorf 2010 131 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Wissenschaftlich-technische Berichte / FZD, Forschungszentrum Dresden-Rossendorf 537 Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2010 Schichtwachstum (DE-588)4273432-0 gnd rswk-swf Diffusion (DE-588)4012277-3 gnd rswk-swf Dünnschichttechnik (DE-588)4136339-5 gnd rswk-swf Aktive Streuspektroskopie (DE-588)4183695-9 gnd rswk-swf Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Rutherford-Streuung (DE-588)4121601-5 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Dünnschichttechnik (DE-588)4136339-5 s Schichtwachstum (DE-588)4273432-0 s Diffusion (DE-588)4012277-3 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s Aktive Streuspektroskopie (DE-588)4183695-9 s Rutherford-Streuung (DE-588)4121601-5 s DE-604 Erscheint auch als Online-Ausgabe Vieluf, Maik Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie zur Untersuchung von ZrO2-Schichtwachstum im Anfangsstadium FZD, Forschungszentrum Dresden-Rossendorf Wissenschaftlich-technische Berichte 537 (DE-604)BV013395587 537 |
| spellingShingle | Vieluf, Maik 1977- Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie zur Untersuchung von ZrO2-Schichtwachstum im Anfangsstadium FZD, Forschungszentrum Dresden-Rossendorf Wissenschaftlich-technische Berichte Schichtwachstum (DE-588)4273432-0 gnd Diffusion (DE-588)4012277-3 gnd Dünnschichttechnik (DE-588)4136339-5 gnd Aktive Streuspektroskopie (DE-588)4183695-9 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Rutherford-Streuung (DE-588)4121601-5 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4273432-0 (DE-588)4012277-3 (DE-588)4136339-5 (DE-588)4183695-9 (DE-588)4136925-7 (DE-588)4121601-5 (DE-588)4113937-9 |
| title | Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie zur Untersuchung von ZrO2-Schichtwachstum im Anfangsstadium |
| title_auth | Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie zur Untersuchung von ZrO2-Schichtwachstum im Anfangsstadium |
| title_exact_search | Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie zur Untersuchung von ZrO2-Schichtwachstum im Anfangsstadium |
| title_full | Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie zur Untersuchung von ZrO2-Schichtwachstum im Anfangsstadium Maik Vieluf |
| title_fullStr | Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie zur Untersuchung von ZrO2-Schichtwachstum im Anfangsstadium Maik Vieluf |
| title_full_unstemmed | Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie zur Untersuchung von ZrO2-Schichtwachstum im Anfangsstadium Maik Vieluf |
| title_short | Hochauflösende Rutherford-Streuspektrometrie zur Untersuchung von ZrO2-Schichtwachstum im Anfangsstadium |
| title_sort | hochauflosende rutherford streuspektrometrie zur untersuchung von zro2 schichtwachstum im anfangsstadium |
| topic | Schichtwachstum (DE-588)4273432-0 gnd Diffusion (DE-588)4012277-3 gnd Dünnschichttechnik (DE-588)4136339-5 gnd Aktive Streuspektroskopie (DE-588)4183695-9 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Rutherford-Streuung (DE-588)4121601-5 gnd |
| topic_facet | Schichtwachstum Diffusion Dünnschichttechnik Aktive Streuspektroskopie Dünne Schicht Rutherford-Streuung Hochschulschrift |
| volume_link | (DE-604)BV013395587 |
| work_keys_str_mv | AT vielufmaik hochauflosenderutherfordstreuspektrometriezuruntersuchungvonzro2schichtwachstumimanfangsstadium |