Charakterisierung von kubischen Siliziumkarbid-Schichten auf Silizium, hergestellt mittels Hot-Wall-CVD:
Physikalische Technik
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Wildau
2011
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Zusammenfassung: | Physikalische Technik |
| Beschreibung: | ii, 69 Blätter Illustrationen |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV039155673 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20200217 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 110725s2011 a||| m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)918457191 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV039155673 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-526 | ||
| 100 | 1 | |a Herzlieb, Marcel |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Charakterisierung von kubischen Siliziumkarbid-Schichten auf Silizium, hergestellt mittels Hot-Wall-CVD |
| 264 | 1 | |a Wildau |c 2011 | |
| 300 | |a ii, 69 Blätter |b Illustrationen | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |b Diplomarbeit |c Technische Hochschule |g P05/06(10) | ||
| 520 | |a Physikalische Technik | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Siliciumcarbid |0 (DE-588)4055009-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a CVD-Verfahren |0 (DE-588)4009846-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Rasterkraftmikroskopie |0 (DE-588)4274473-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Beschichten |0 (DE-588)4005996-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Siliciumcarbid |0 (DE-588)4055009-6 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a CVD-Verfahren |0 (DE-588)4009846-1 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Beschichten |0 (DE-588)4005996-0 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Rasterkraftmikroskopie |0 (DE-588)4274473-8 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | |q application/pdf |u http://wilbert.kobv.de/tocs/95394.pdf |3 Inhaltsverzeichnis | |
| 940 | 1 | |q BTW-Scan | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-024173332 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804148001832173568 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Herzlieb, Marcel |
| author_facet | Herzlieb, Marcel |
| author_role | aut |
| author_sort | Herzlieb, Marcel |
| author_variant | m h mh |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV039155673 |
| ctrlnum | (OCoLC)918457191 (DE-599)BVBBV039155673 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01491nam a2200409 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV039155673</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20200217 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">110725s2011 a||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)918457191</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV039155673</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-526</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Herzlieb, Marcel</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Charakterisierung von kubischen Siliziumkarbid-Schichten auf Silizium, hergestellt mittels Hot-Wall-CVD</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Wildau</subfield><subfield code="c">2011</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ii, 69 Blätter</subfield><subfield code="b">Illustrationen</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">Diplomarbeit</subfield><subfield code="c">Technische Hochschule</subfield><subfield code="g">P05/06(10)</subfield></datafield><datafield tag="520" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Physikalische Technik</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Siliciumcarbid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4055009-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4009846-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Rasterkraftmikroskopie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4274473-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Beschichten</subfield><subfield code="0">(DE-588)4005996-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Siliciumcarbid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4055009-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4009846-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Beschichten</subfield><subfield code="0">(DE-588)4005996-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Rasterkraftmikroskopie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4274473-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2=" "><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://wilbert.kobv.de/tocs/95394.pdf</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="940" ind1="1" ind2=" "><subfield code="q">BTW-Scan</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-024173332</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV039155673 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-10T00:00:12Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-024173332 |
| oclc_num | 918457191 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-526 |
| owner_facet | DE-526 |
| physical | ii, 69 Blätter Illustrationen |
| psigel | BTW-Scan |
| publishDate | 2011 |
| publishDateSearch | 2011 |
| publishDateSort | 2011 |
| record_format | marc |
| spelling | Herzlieb, Marcel Verfasser aut Charakterisierung von kubischen Siliziumkarbid-Schichten auf Silizium, hergestellt mittels Hot-Wall-CVD Wildau 2011 ii, 69 Blätter Illustrationen txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Diplomarbeit Technische Hochschule P05/06(10) Physikalische Technik Siliciumcarbid (DE-588)4055009-6 gnd rswk-swf CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd rswk-swf Rasterkraftmikroskopie (DE-588)4274473-8 gnd rswk-swf Beschichten (DE-588)4005996-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Siliciumcarbid (DE-588)4055009-6 s CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 s Beschichten (DE-588)4005996-0 s Rasterkraftmikroskopie (DE-588)4274473-8 s DE-604 application/pdf http://wilbert.kobv.de/tocs/95394.pdf Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Herzlieb, Marcel Charakterisierung von kubischen Siliziumkarbid-Schichten auf Silizium, hergestellt mittels Hot-Wall-CVD Siliciumcarbid (DE-588)4055009-6 gnd CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd Rasterkraftmikroskopie (DE-588)4274473-8 gnd Beschichten (DE-588)4005996-0 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4055009-6 (DE-588)4009846-1 (DE-588)4274473-8 (DE-588)4005996-0 (DE-588)4113937-9 |
| title | Charakterisierung von kubischen Siliziumkarbid-Schichten auf Silizium, hergestellt mittels Hot-Wall-CVD |
| title_auth | Charakterisierung von kubischen Siliziumkarbid-Schichten auf Silizium, hergestellt mittels Hot-Wall-CVD |
| title_exact_search | Charakterisierung von kubischen Siliziumkarbid-Schichten auf Silizium, hergestellt mittels Hot-Wall-CVD |
| title_full | Charakterisierung von kubischen Siliziumkarbid-Schichten auf Silizium, hergestellt mittels Hot-Wall-CVD |
| title_fullStr | Charakterisierung von kubischen Siliziumkarbid-Schichten auf Silizium, hergestellt mittels Hot-Wall-CVD |
| title_full_unstemmed | Charakterisierung von kubischen Siliziumkarbid-Schichten auf Silizium, hergestellt mittels Hot-Wall-CVD |
| title_short | Charakterisierung von kubischen Siliziumkarbid-Schichten auf Silizium, hergestellt mittels Hot-Wall-CVD |
| title_sort | charakterisierung von kubischen siliziumkarbid schichten auf silizium hergestellt mittels hot wall cvd |
| topic | Siliciumcarbid (DE-588)4055009-6 gnd CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd Rasterkraftmikroskopie (DE-588)4274473-8 gnd Beschichten (DE-588)4005996-0 gnd |
| topic_facet | Siliciumcarbid CVD-Verfahren Rasterkraftmikroskopie Beschichten Hochschulschrift |
| url | http://wilbert.kobv.de/tocs/95394.pdf |
| work_keys_str_mv | AT herzliebmarcel charakterisierungvonkubischensiliziumkarbidschichtenaufsiliziumhergestelltmittelshotwallcvd |