Mehner, J. (2010). Mikrosystemtechnik: Mikromechanik & Mikroelektronik. Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Mehner, Jan. Mikrosystemtechnik: Mikromechanik & Mikroelektronik. Chemnitz: Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik, 2010.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Mehner, Jan. Mikrosystemtechnik: Mikromechanik & Mikroelektronik. Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik, 2010.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.