Mikrosystemtechnik: Mikromechanik & Mikroelektronik
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| Format: | Tagungsbericht Buch |
| Sprache: | German English |
| Veröffentlicht: |
Chemnitz
Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik
2010
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| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Beitr. teilw. dt., teilw. engl. - Literaturangaben |
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