Single-source-precursor CVD: alkoxy and siloxy aluminum hydrides
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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Veith, Michael 1944- (VerfasserIn)
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Berlin [u.a.] Springer 2005
Online-Zugang:Volltext // Exemplar mit der Signatur: München, Bayerische Staatsbibliothek -- 2005.42597#S.81-100
Beschreibung:In: Precursor chemistry of advanced materials = Topics in organometallic chemistry ; 9. - Berlin [u.a.] : Springer, 2005
Beschreibung:1 Online-Ressource (S. [81] - 100) Ill.

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