Lehrbuch Mikrosystemtechnik: Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen
Main description: Das Buch geht zunächst auf die mech. Grundelemente, wie Balken und Brücken, und auf die fluidischen Grundelemente, wie Mikrokanäle und Mikroventile, ein. Es folgt die Beschreibung von sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandlern sowie ein Kapitel...
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München
Oldenbourg
2009
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| Summary: | Main description: Das Buch geht zunächst auf die mech. Grundelemente, wie Balken und Brücken, und auf die fluidischen Grundelemente, wie Mikrokanäle und Mikroventile, ein. Es folgt die Beschreibung von sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandlern sowie ein Kapitel zu den Materialien in der Mikrosystemtechnik. Hier wird auch auf die Basis-/Substratmaterialien eingegangen, wozu bspw. die Herstllg. von Silizium-Wafern und die Charakterisierung von Silizium erläutert werden. Weiter werden Glas und Quarzglas, Keramiken und piezoelektr. Materialien, Metalle, Schichtwerkstoffe, Polymere und Lote näher charakterisiert. Anschl. werden Herstllg-verfahren für Mikrokomponenten, die Verfahren zur Strukturübertragung, die Prozesse zur Beeinflussung der Substrateigenschaften, Plasmaprozesse, Schichtabscheidungsverfahren sowie Strukturierungsverfahren erläutert. Es folgt Konfektionierung der Mikrokomponenten, und ein Einblick in die Mess- und Prüftechnik von Mikrosystemen. Abschließend werden Entwurf/Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien, effektive Materialeinsatz diskutiert. Als Orientierungshilfe sind zu Beginn jedes größeren Abschnitts relevante Schlüsselwörter vermerkt. Diese finden sich auch in der Marginalspalte. Am Ende der Abschnitte befindet sich zudem der Absatz, in dem die wichtigsten Informationen noch mal stichpunktartig zsgefasst worden sind. So wird das Buch zum effizienten Nachschlagewerk für Studium u. Praxis. Das Buch fußt auf den Erkenntnissen einer Koop. der Fachgr. Mikrostrukturierte mechatronische Systeme der TU München mit dem FB Medienpäd. der Univ. Augsburg. Gemeinsam wurde erstmalig ein hochgradig systematisierter, sowohl fachlich als auch didaktisch aufbereiteter Lehransatz auf dem komplexen Gebiet der Mikrosystemtechnik entwickelt, der einen einfachen Einstieg und tief greifendes Lernen ermöglicht |
| Item Description: | Literaturangaben |
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| spelling | Schwesinger, Norbert 1952- Verfasser (DE-588)137012128 aut Lehrbuch Mikrosystemtechnik Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen von Norbert Schwesinger, Carolin Dehne und Frederic Adler München Oldenbourg 2009 1 Online-Ressource Ill., graph. Darst. txt rdacontent c rdamedia cr rdacarrier Literaturangaben Main description: Das Buch geht zunächst auf die mech. Grundelemente, wie Balken und Brücken, und auf die fluidischen Grundelemente, wie Mikrokanäle und Mikroventile, ein. Es folgt die Beschreibung von sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandlern sowie ein Kapitel zu den Materialien in der Mikrosystemtechnik. Hier wird auch auf die Basis-/Substratmaterialien eingegangen, wozu bspw. die Herstllg. von Silizium-Wafern und die Charakterisierung von Silizium erläutert werden. Weiter werden Glas und Quarzglas, Keramiken und piezoelektr. Materialien, Metalle, Schichtwerkstoffe, Polymere und Lote näher charakterisiert. Anschl. werden Herstllg-verfahren für Mikrokomponenten, die Verfahren zur Strukturübertragung, die Prozesse zur Beeinflussung der Substrateigenschaften, Plasmaprozesse, Schichtabscheidungsverfahren sowie Strukturierungsverfahren erläutert. Es folgt Konfektionierung der Mikrokomponenten, und ein Einblick in die Mess- und Prüftechnik von Mikrosystemen. Abschließend werden Entwurf/Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien, effektive Materialeinsatz diskutiert. Als Orientierungshilfe sind zu Beginn jedes größeren Abschnitts relevante Schlüsselwörter vermerkt. Diese finden sich auch in der Marginalspalte. Am Ende der Abschnitte befindet sich zudem der Absatz, in dem die wichtigsten Informationen noch mal stichpunktartig zsgefasst worden sind. So wird das Buch zum effizienten Nachschlagewerk für Studium u. Praxis. Das Buch fußt auf den Erkenntnissen einer Koop. der Fachgr. Mikrostrukturierte mechatronische Systeme der TU München mit dem FB Medienpäd. der Univ. Augsburg. Gemeinsam wurde erstmalig ein hochgradig systematisierter, sowohl fachlich als auch didaktisch aufbereiteter Lehransatz auf dem komplexen Gebiet der Mikrosystemtechnik entwickelt, der einen einfachen Einstieg und tief greifendes Lernen ermöglicht Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd rswk-swf (DE-588)4123623-3 Lehrbuch gnd-content Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 s DE-604 Dehne, Carolin Verfasser (DE-588)137012152 aut Adler, Frederic 1978- Verfasser (DE-588)137012195 aut text/html https://doi.org/10.1524/9783486594119 Verlag Volltext |
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