Lehrbuch Mikrosystemtechnik: Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen
Main description: Das Buch geht zunächst auf die mech. Grundelemente, wie Balken und Brücken, und auf die fluidischen Grundelemente, wie Mikrokanäle und Mikroventile, ein. Es folgt die Beschreibung von sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandlern sowie ein Kapitel...
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , , |
|---|---|
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
München
Oldenbourg
2009
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | FHA01 UBA01 UPA01 UBY01 UBM01 Volltext |
| Zusammenfassung: | Main description: Das Buch geht zunächst auf die mech. Grundelemente, wie Balken und Brücken, und auf die fluidischen Grundelemente, wie Mikrokanäle und Mikroventile, ein. Es folgt die Beschreibung von sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandlern sowie ein Kapitel zu den Materialien in der Mikrosystemtechnik. Hier wird auch auf die Basis-/Substratmaterialien eingegangen, wozu bspw. die Herstllg. von Silizium-Wafern und die Charakterisierung von Silizium erläutert werden. Weiter werden Glas und Quarzglas, Keramiken und piezoelektr. Materialien, Metalle, Schichtwerkstoffe, Polymere und Lote näher charakterisiert. Anschl. werden Herstllg-verfahren für Mikrokomponenten, die Verfahren zur Strukturübertragung, die Prozesse zur Beeinflussung der Substrateigenschaften, Plasmaprozesse, Schichtabscheidungsverfahren sowie Strukturierungsverfahren erläutert. Es folgt Konfektionierung der Mikrokomponenten, und ein Einblick in die Mess- und Prüftechnik von Mikrosystemen. Abschließend werden Entwurf/Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien, effektive Materialeinsatz diskutiert. Als Orientierungshilfe sind zu Beginn jedes größeren Abschnitts relevante Schlüsselwörter vermerkt. Diese finden sich auch in der Marginalspalte. Am Ende der Abschnitte befindet sich zudem der Absatz, in dem die wichtigsten Informationen noch mal stichpunktartig zsgefasst worden sind. So wird das Buch zum effizienten Nachschlagewerk für Studium u. Praxis. Das Buch fußt auf den Erkenntnissen einer Koop. der Fachgr. Mikrostrukturierte mechatronische Systeme der TU München mit dem FB Medienpäd. der Univ. Augsburg. Gemeinsam wurde erstmalig ein hochgradig systematisierter, sowohl fachlich als auch didaktisch aufbereiteter Lehransatz auf dem komplexen Gebiet der Mikrosystemtechnik entwickelt, der einen einfachen Einstieg und tief greifendes Lernen ermöglicht |
| Beschreibung: | Literaturangaben |
| Beschreibung: | 1 Online-Ressource Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 9783486579291 9783486594119 |
| DOI: | 10.1524/9783486594119 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nmm a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV036970044 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20190510 | ||
| 007 | cr|uuu---uuuuu | ||
| 008 | 110120s2009 gw |||| o||u| ||||||ger d | ||
| 020 | |a 9783486579291 |9 978-3-486-57929-1 | ||
| 020 | |a 9783486594119 |9 978-3-486-59411-9 | ||
| 024 | 7 | |a 10.1524/9783486594119 |2 doi | |
| 035 | |a (OCoLC)300220943 | ||
| 035 | |a (DE-599)GBV616345372 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c XA-DE-BY | ||
| 049 | |a DE-898 |a DE-523 |a DE-703 |a DE-29 |a DE-859 |a DE-860 |a DE-384 |a DE-Aug4 |a DE-739 |a DE-739 |a DE-1046 |a DE-706 |a DE-1043 |a DE-858 |a DE-526 |a DE-19 | ||
| 082 | 0 | |a 621 |2 22//ger | |
| 084 | |a ZN 3750 |0 (DE-625)157334: |2 rvk | ||
| 084 | |a 50.94 |2 bkl | ||
| 100 | 1 | |a Schwesinger, Norbert |d 1952- |e Verfasser |0 (DE-588)137012128 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Lehrbuch Mikrosystemtechnik |b Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen |c von Norbert Schwesinger, Carolin Dehne und Frederic Adler |
| 264 | 1 | |a München |b Oldenbourg |c 2009 | |
| 300 | |a 1 Online-Ressource |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b c |2 rdamedia | ||
| 338 | |b cr |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Literaturangaben | ||
| 520 | 1 | |a Main description: Das Buch geht zunächst auf die mech. Grundelemente, wie Balken und Brücken, und auf die fluidischen Grundelemente, wie Mikrokanäle und Mikroventile, ein. Es folgt die Beschreibung von sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandlern sowie ein Kapitel zu den Materialien in der Mikrosystemtechnik. Hier wird auch auf die Basis-/Substratmaterialien eingegangen, wozu bspw. die Herstllg. von Silizium-Wafern und die Charakterisierung von Silizium erläutert werden. Weiter werden Glas und Quarzglas, Keramiken und piezoelektr. Materialien, Metalle, Schichtwerkstoffe, Polymere und Lote näher charakterisiert. Anschl. werden Herstllg-verfahren für Mikrokomponenten, die Verfahren zur Strukturübertragung, die Prozesse zur Beeinflussung der Substrateigenschaften, Plasmaprozesse, Schichtabscheidungsverfahren sowie Strukturierungsverfahren erläutert. Es folgt Konfektionierung der Mikrokomponenten, und ein Einblick in die Mess- und Prüftechnik von Mikrosystemen. Abschließend werden Entwurf/Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien, effektive Materialeinsatz diskutiert. Als Orientierungshilfe sind zu Beginn jedes größeren Abschnitts relevante Schlüsselwörter vermerkt. Diese finden sich auch in der Marginalspalte. Am Ende der Abschnitte befindet sich zudem der Absatz, in dem die wichtigsten Informationen noch mal stichpunktartig zsgefasst worden sind. So wird das Buch zum effizienten Nachschlagewerk für Studium u. Praxis. Das Buch fußt auf den Erkenntnissen einer Koop. der Fachgr. Mikrostrukturierte mechatronische Systeme der TU München mit dem FB Medienpäd. der Univ. Augsburg. Gemeinsam wurde erstmalig ein hochgradig systematisierter, sowohl fachlich als auch didaktisch aufbereiteter Lehransatz auf dem komplexen Gebiet der Mikrosystemtechnik entwickelt, der einen einfachen Einstieg und tief greifendes Lernen ermöglicht | |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4123623-3 |a Lehrbuch |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Dehne, Carolin |e Verfasser |0 (DE-588)137012152 |4 aut | |
| 700 | 1 | |a Adler, Frederic |d 1978- |e Verfasser |0 (DE-588)137012195 |4 aut | |
| 856 | 4 | 0 | |q text/html |u https://doi.org/10.1524/9783486594119 |x Verlag |3 Volltext |
| 912 | |a ZDB-23-DGG |a ZDB-30-PQE |a ZDB-42-OBL |a ZDB-42-ON1 |a ZDB-23-GPS |a ZDB-23-GBA | ||
| 940 | 1 | |q BSB_LZA_Oldenbourg | |
| 940 | 1 | |q FKE_PDA_DGG_Kauf | |
| 940 | 1 | |q FLA_PDA_DGG | |
| 940 | 1 | |q UPA_PDA_DGG | |
| 940 | 1 | |q FAW_PDA_DGG | |
| 940 | 1 | |q FCO_PDA_DGG | |
| 940 | 1 | |q ZDB-23-GPS_2000/2014 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-020884796 | ||
| 966 | e | |u https://doi.org/10.1524/9783486594119 |l FHA01 |p ZDB-23-DGG |q FHA_PDA_DGG |x Verlag |3 Volltext | |
| 966 | e | |u http://ebookcentral.proquest.com/lib/augsburg/detail.action?docID=1685934 |l UBA01 |p ZDB-30-PQE |x Aggregator |3 Volltext | |
| 966 | e | |u https://doi.org/10.1524/9783486594119 |l UPA01 |p ZDB-23-DGG |q UPA_PDA_DGG |x Verlag |3 Volltext | |
| 966 | e | |u https://doi.org/10.1524/9783486594119 |l UBY01 |p ZDB-23-GPS |x Verlag |3 Volltext | |
| 966 | e | |u https://doi.org/10.1524/9783486594119 |l UBM01 |p ZDB-23-GBA |q ZDB-23-GBA_2000/2014 |x Verlag |3 Volltext | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804143696389603328 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Schwesinger, Norbert 1952- Dehne, Carolin Adler, Frederic 1978- |
| author_GND | (DE-588)137012128 (DE-588)137012152 (DE-588)137012195 |
| author_facet | Schwesinger, Norbert 1952- Dehne, Carolin Adler, Frederic 1978- |
| author_role | aut aut aut |
| author_sort | Schwesinger, Norbert 1952- |
| author_variant | n s ns c d cd f a fa |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV036970044 |
| classification_rvk | ZN 3750 |
| collection | ZDB-23-DGG ZDB-30-PQE ZDB-42-OBL ZDB-42-ON1 ZDB-23-GPS ZDB-23-GBA |
| ctrlnum | (OCoLC)300220943 (DE-599)GBV616345372 |
| dewey-full | 621 |
| dewey-hundreds | 600 - Technology (Applied sciences) |
| dewey-ones | 621 - Applied physics |
| dewey-raw | 621 |
| dewey-search | 621 |
| dewey-sort | 3621 |
| dewey-tens | 620 - Engineering and allied operations |
| discipline | Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| doi_str_mv | 10.1524/9783486594119 |
| format | Electronic eBook |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>04454nmm a2200589 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV036970044</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20190510 </controlfield><controlfield tag="007">cr|uuu---uuuuu</controlfield><controlfield tag="008">110120s2009 gw |||| o||u| ||||||ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783486579291</subfield><subfield code="9">978-3-486-57929-1</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783486594119</subfield><subfield code="9">978-3-486-59411-9</subfield></datafield><datafield tag="024" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">10.1524/9783486594119</subfield><subfield code="2">doi</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)300220943</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)GBV616345372</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">XA-DE-BY</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-898</subfield><subfield code="a">DE-523</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-859</subfield><subfield code="a">DE-860</subfield><subfield code="a">DE-384</subfield><subfield code="a">DE-Aug4</subfield><subfield code="a">DE-739</subfield><subfield code="a">DE-739</subfield><subfield code="a">DE-1046</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield><subfield code="a">DE-1043</subfield><subfield code="a">DE-858</subfield><subfield code="a">DE-526</subfield><subfield code="a">DE-19</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">621</subfield><subfield code="2">22//ger</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 3750</subfield><subfield code="0">(DE-625)157334:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">50.94</subfield><subfield code="2">bkl</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Schwesinger, Norbert</subfield><subfield code="d">1952-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)137012128</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Lehrbuch Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="b">Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen</subfield><subfield code="c">von Norbert Schwesinger, Carolin Dehne und Frederic Adler</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">München</subfield><subfield code="b">Oldenbourg</subfield><subfield code="c">2009</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1 Online-Ressource</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">c</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">cr</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Literaturangaben</subfield></datafield><datafield tag="520" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Main description: Das Buch geht zunächst auf die mech. Grundelemente, wie Balken und Brücken, und auf die fluidischen Grundelemente, wie Mikrokanäle und Mikroventile, ein. Es folgt die Beschreibung von sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandlern sowie ein Kapitel zu den Materialien in der Mikrosystemtechnik. Hier wird auch auf die Basis-/Substratmaterialien eingegangen, wozu bspw. die Herstllg. von Silizium-Wafern und die Charakterisierung von Silizium erläutert werden. Weiter werden Glas und Quarzglas, Keramiken und piezoelektr. Materialien, Metalle, Schichtwerkstoffe, Polymere und Lote näher charakterisiert. Anschl. werden Herstllg-verfahren für Mikrokomponenten, die Verfahren zur Strukturübertragung, die Prozesse zur Beeinflussung der Substrateigenschaften, Plasmaprozesse, Schichtabscheidungsverfahren sowie Strukturierungsverfahren erläutert. Es folgt Konfektionierung der Mikrokomponenten, und ein Einblick in die Mess- und Prüftechnik von Mikrosystemen. Abschließend werden Entwurf/Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien, effektive Materialeinsatz diskutiert. Als Orientierungshilfe sind zu Beginn jedes größeren Abschnitts relevante Schlüsselwörter vermerkt. Diese finden sich auch in der Marginalspalte. Am Ende der Abschnitte befindet sich zudem der Absatz, in dem die wichtigsten Informationen noch mal stichpunktartig zsgefasst worden sind. So wird das Buch zum effizienten Nachschlagewerk für Studium u. Praxis. Das Buch fußt auf den Erkenntnissen einer Koop. der Fachgr. Mikrostrukturierte mechatronische Systeme der TU München mit dem FB Medienpäd. der Univ. Augsburg. Gemeinsam wurde erstmalig ein hochgradig systematisierter, sowohl fachlich als auch didaktisch aufbereiteter Lehransatz auf dem komplexen Gebiet der Mikrosystemtechnik entwickelt, der einen einfachen Einstieg und tief greifendes Lernen ermöglicht</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4123623-3</subfield><subfield code="a">Lehrbuch</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Dehne, Carolin</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)137012152</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Adler, Frederic</subfield><subfield code="d">1978-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)137012195</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="0"><subfield code="q">text/html</subfield><subfield code="u">https://doi.org/10.1524/9783486594119</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZDB-23-DGG</subfield><subfield code="a">ZDB-30-PQE</subfield><subfield code="a">ZDB-42-OBL</subfield><subfield code="a">ZDB-42-ON1</subfield><subfield code="a">ZDB-23-GPS</subfield><subfield code="a">ZDB-23-GBA</subfield></datafield><datafield tag="940" ind1="1" ind2=" "><subfield code="q">BSB_LZA_Oldenbourg</subfield></datafield><datafield tag="940" ind1="1" ind2=" "><subfield code="q">FKE_PDA_DGG_Kauf</subfield></datafield><datafield tag="940" ind1="1" ind2=" "><subfield code="q">FLA_PDA_DGG</subfield></datafield><datafield tag="940" ind1="1" ind2=" "><subfield code="q">UPA_PDA_DGG</subfield></datafield><datafield tag="940" ind1="1" ind2=" "><subfield code="q">FAW_PDA_DGG</subfield></datafield><datafield tag="940" ind1="1" ind2=" "><subfield code="q">FCO_PDA_DGG</subfield></datafield><datafield tag="940" ind1="1" ind2=" "><subfield code="q">ZDB-23-GPS_2000/2014</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-020884796</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1524/9783486594119</subfield><subfield code="l">FHA01</subfield><subfield code="p">ZDB-23-DGG</subfield><subfield code="q">FHA_PDA_DGG</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">http://ebookcentral.proquest.com/lib/augsburg/detail.action?docID=1685934</subfield><subfield code="l">UBA01</subfield><subfield code="p">ZDB-30-PQE</subfield><subfield code="x">Aggregator</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1524/9783486594119</subfield><subfield code="l">UPA01</subfield><subfield code="p">ZDB-23-DGG</subfield><subfield code="q">UPA_PDA_DGG</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1524/9783486594119</subfield><subfield code="l">UBY01</subfield><subfield code="p">ZDB-23-GPS</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1524/9783486594119</subfield><subfield code="l">UBM01</subfield><subfield code="p">ZDB-23-GBA</subfield><subfield code="q">ZDB-23-GBA_2000/2014</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4123623-3 Lehrbuch gnd-content |
| genre_facet | Lehrbuch |
| id | DE-604.BV036970044 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T22:51:46Z |
| institution | BVB |
| isbn | 9783486579291 9783486594119 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-020884796 |
| oclc_num | 300220943 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-898 DE-BY-UBR DE-523 DE-703 DE-29 DE-859 DE-860 DE-384 DE-Aug4 DE-739 DE-739 DE-1046 DE-706 DE-1043 DE-858 DE-526 DE-19 DE-BY-UBM |
| owner_facet | DE-898 DE-BY-UBR DE-523 DE-703 DE-29 DE-859 DE-860 DE-384 DE-Aug4 DE-739 DE-739 DE-1046 DE-706 DE-1043 DE-858 DE-526 DE-19 DE-BY-UBM |
| physical | 1 Online-Ressource Ill., graph. Darst. |
| psigel | ZDB-23-DGG ZDB-30-PQE ZDB-42-OBL ZDB-42-ON1 ZDB-23-GPS ZDB-23-GBA BSB_LZA_Oldenbourg FKE_PDA_DGG_Kauf FLA_PDA_DGG UPA_PDA_DGG FAW_PDA_DGG FCO_PDA_DGG ZDB-23-GPS_2000/2014 ZDB-23-DGG FHA_PDA_DGG ZDB-23-DGG UPA_PDA_DGG ZDB-23-GBA ZDB-23-GBA_2000/2014 |
| publishDate | 2009 |
| publishDateSearch | 2009 |
| publishDateSort | 2009 |
| publisher | Oldenbourg |
| record_format | marc |
| spelling | Schwesinger, Norbert 1952- Verfasser (DE-588)137012128 aut Lehrbuch Mikrosystemtechnik Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen von Norbert Schwesinger, Carolin Dehne und Frederic Adler München Oldenbourg 2009 1 Online-Ressource Ill., graph. Darst. txt rdacontent c rdamedia cr rdacarrier Literaturangaben Main description: Das Buch geht zunächst auf die mech. Grundelemente, wie Balken und Brücken, und auf die fluidischen Grundelemente, wie Mikrokanäle und Mikroventile, ein. Es folgt die Beschreibung von sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandlern sowie ein Kapitel zu den Materialien in der Mikrosystemtechnik. Hier wird auch auf die Basis-/Substratmaterialien eingegangen, wozu bspw. die Herstllg. von Silizium-Wafern und die Charakterisierung von Silizium erläutert werden. Weiter werden Glas und Quarzglas, Keramiken und piezoelektr. Materialien, Metalle, Schichtwerkstoffe, Polymere und Lote näher charakterisiert. Anschl. werden Herstllg-verfahren für Mikrokomponenten, die Verfahren zur Strukturübertragung, die Prozesse zur Beeinflussung der Substrateigenschaften, Plasmaprozesse, Schichtabscheidungsverfahren sowie Strukturierungsverfahren erläutert. Es folgt Konfektionierung der Mikrokomponenten, und ein Einblick in die Mess- und Prüftechnik von Mikrosystemen. Abschließend werden Entwurf/Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien, effektive Materialeinsatz diskutiert. Als Orientierungshilfe sind zu Beginn jedes größeren Abschnitts relevante Schlüsselwörter vermerkt. Diese finden sich auch in der Marginalspalte. Am Ende der Abschnitte befindet sich zudem der Absatz, in dem die wichtigsten Informationen noch mal stichpunktartig zsgefasst worden sind. So wird das Buch zum effizienten Nachschlagewerk für Studium u. Praxis. Das Buch fußt auf den Erkenntnissen einer Koop. der Fachgr. Mikrostrukturierte mechatronische Systeme der TU München mit dem FB Medienpäd. der Univ. Augsburg. Gemeinsam wurde erstmalig ein hochgradig systematisierter, sowohl fachlich als auch didaktisch aufbereiteter Lehransatz auf dem komplexen Gebiet der Mikrosystemtechnik entwickelt, der einen einfachen Einstieg und tief greifendes Lernen ermöglicht Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd rswk-swf (DE-588)4123623-3 Lehrbuch gnd-content Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 s DE-604 Dehne, Carolin Verfasser (DE-588)137012152 aut Adler, Frederic 1978- Verfasser (DE-588)137012195 aut text/html https://doi.org/10.1524/9783486594119 Verlag Volltext |
| spellingShingle | Schwesinger, Norbert 1952- Dehne, Carolin Adler, Frederic 1978- Lehrbuch Mikrosystemtechnik Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4221617-5 (DE-588)4123623-3 |
| title | Lehrbuch Mikrosystemtechnik Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen |
| title_auth | Lehrbuch Mikrosystemtechnik Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen |
| title_exact_search | Lehrbuch Mikrosystemtechnik Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen |
| title_full | Lehrbuch Mikrosystemtechnik Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen von Norbert Schwesinger, Carolin Dehne und Frederic Adler |
| title_fullStr | Lehrbuch Mikrosystemtechnik Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen von Norbert Schwesinger, Carolin Dehne und Frederic Adler |
| title_full_unstemmed | Lehrbuch Mikrosystemtechnik Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen von Norbert Schwesinger, Carolin Dehne und Frederic Adler |
| title_short | Lehrbuch Mikrosystemtechnik |
| title_sort | lehrbuch mikrosystemtechnik anwendungen grundlagen materialien und herstellung von mikrosystemen |
| title_sub | Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen |
| topic | Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd |
| topic_facet | Mikrosystemtechnik Lehrbuch |
| url | https://doi.org/10.1524/9783486594119 |
| work_keys_str_mv | AT schwesingernorbert lehrbuchmikrosystemtechnikanwendungengrundlagenmaterialienundherstellungvonmikrosystemen AT dehnecarolin lehrbuchmikrosystemtechnikanwendungengrundlagenmaterialienundherstellungvonmikrosystemen AT adlerfrederic lehrbuchmikrosystemtechnikanwendungengrundlagenmaterialienundherstellungvonmikrosystemen |