Levinson, H. J. (2010). Principles of lithography (3. ed.). SPIE. https://doi.org/10.1117/3.865363
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Levinson, Harry J. Principles of Lithography. 3. ed. Bellingham: SPIE, 2010. https://doi.org/10.1117/3.865363.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Levinson, Harry J. Principles of Lithography. 3. ed. SPIE, 2010. https://doi.org/10.1117/3.865363.
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