Von Abbes Strichteilungen zur Mikrolithografie: ein historischer Abriss zur geteilten Optik
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Artikel |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
2009
|
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Ill. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000naa a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV036894910 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20110221 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 110111s2009 a||| |||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)907785390 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV036894910 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-210 | ||
| 100 | 1 | |a Pröger, Hansjürgen |d 1927- |e Verfasser |0 (DE-588)129289493 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Von Abbes Strichteilungen zur Mikrolithografie |b ein historischer Abriss zur geteilten Optik |c Hansjürgen Pröger |
| 264 | 1 | |c 2009 | |
| 300 | |b Ill. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 610 | 2 | 7 | |a Jenoptik Carl Zeiss Jena GmbH |0 (DE-588)4067460-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 648 | 7 | |a Geschichte |2 gnd |9 rswk-swf | |
| 650 | 0 | 7 | |a Lithografie |g Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4191584-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a Jenoptik Carl Zeiss Jena GmbH |0 (DE-588)4067460-5 |D b |
| 689 | 0 | 1 | |a Lithografie |g Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4191584-7 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Geschichte |A z |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 773 | 1 | 8 | |g volume:12 |g year:2009 |g pages:243-312 |
| 773 | 0 | 8 | |t Jenaer Jahrbuch zur Technik- und Industriegeschichte / im Auftr. des Vereins Technikgeschichte in Jena e.V. |d Jena |g 12 (2009), S. 243 - 312 |w (DE-604)BV022397121 |o (DE-600)2024259-1 |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-020810029 | ||
| 941 | |b 12 |j 2009 |s 243-312 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804143609266569216 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| article_link | (DE-604)BV022397121 |
| author | Pröger, Hansjürgen 1927- |
| author_GND | (DE-588)129289493 |
| author_facet | Pröger, Hansjürgen 1927- |
| author_role | aut |
| author_sort | Pröger, Hansjürgen 1927- |
| author_variant | h p hp |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV036894910 |
| ctrlnum | (OCoLC)907785390 (DE-599)BVBBV036894910 |
| era | Geschichte gnd |
| era_facet | Geschichte |
| format | Article |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01391naa a2200361 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV036894910</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20110221 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">110111s2009 a||| |||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)907785390</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV036894910</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-210</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Pröger, Hansjürgen</subfield><subfield code="d">1927-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)129289493</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Von Abbes Strichteilungen zur Mikrolithografie</subfield><subfield code="b">ein historischer Abriss zur geteilten Optik</subfield><subfield code="c">Hansjürgen Pröger</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">2009</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">Ill.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="610" ind1="2" ind2="7"><subfield code="a">Jenoptik Carl Zeiss Jena GmbH</subfield><subfield code="0">(DE-588)4067460-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="648" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">Geschichte</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Lithografie</subfield><subfield code="g">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4191584-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Jenoptik Carl Zeiss Jena GmbH</subfield><subfield code="0">(DE-588)4067460-5</subfield><subfield code="D">b</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Lithografie</subfield><subfield code="g">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4191584-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Geschichte</subfield><subfield code="A">z</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="773" ind1="1" ind2="8"><subfield code="g">volume:12</subfield><subfield code="g">year:2009</subfield><subfield code="g">pages:243-312</subfield></datafield><datafield tag="773" ind1="0" ind2="8"><subfield code="t">Jenaer Jahrbuch zur Technik- und Industriegeschichte / im Auftr. des Vereins Technikgeschichte in Jena e.V.</subfield><subfield code="d">Jena</subfield><subfield code="g">12 (2009), S. 243 - 312</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV022397121</subfield><subfield code="o">(DE-600)2024259-1</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-020810029</subfield></datafield><datafield tag="941" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">12</subfield><subfield code="j">2009</subfield><subfield code="s">243-312</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV036894910 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T22:50:23Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-020810029 |
| oclc_num | 907785390 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-210 |
| owner_facet | DE-210 |
| physical | Ill. |
| publishDate | 2009 |
| publishDateSearch | 2009 |
| publishDateSort | 2009 |
| record_format | marc |
| spelling | Pröger, Hansjürgen 1927- Verfasser (DE-588)129289493 aut Von Abbes Strichteilungen zur Mikrolithografie ein historischer Abriss zur geteilten Optik Hansjürgen Pröger 2009 Ill. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Jenoptik Carl Zeiss Jena GmbH (DE-588)4067460-5 gnd rswk-swf Geschichte gnd rswk-swf Lithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4191584-7 gnd rswk-swf Jenoptik Carl Zeiss Jena GmbH (DE-588)4067460-5 b Lithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4191584-7 s Geschichte z DE-604 volume:12 year:2009 pages:243-312 Jenaer Jahrbuch zur Technik- und Industriegeschichte / im Auftr. des Vereins Technikgeschichte in Jena e.V. Jena 12 (2009), S. 243 - 312 (DE-604)BV022397121 (DE-600)2024259-1 |
| spellingShingle | Pröger, Hansjürgen 1927- Von Abbes Strichteilungen zur Mikrolithografie ein historischer Abriss zur geteilten Optik Jenoptik Carl Zeiss Jena GmbH (DE-588)4067460-5 gnd Lithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4191584-7 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4067460-5 (DE-588)4191584-7 |
| title | Von Abbes Strichteilungen zur Mikrolithografie ein historischer Abriss zur geteilten Optik |
| title_auth | Von Abbes Strichteilungen zur Mikrolithografie ein historischer Abriss zur geteilten Optik |
| title_exact_search | Von Abbes Strichteilungen zur Mikrolithografie ein historischer Abriss zur geteilten Optik |
| title_full | Von Abbes Strichteilungen zur Mikrolithografie ein historischer Abriss zur geteilten Optik Hansjürgen Pröger |
| title_fullStr | Von Abbes Strichteilungen zur Mikrolithografie ein historischer Abriss zur geteilten Optik Hansjürgen Pröger |
| title_full_unstemmed | Von Abbes Strichteilungen zur Mikrolithografie ein historischer Abriss zur geteilten Optik Hansjürgen Pröger |
| title_short | Von Abbes Strichteilungen zur Mikrolithografie |
| title_sort | von abbes strichteilungen zur mikrolithografie ein historischer abriss zur geteilten optik |
| title_sub | ein historischer Abriss zur geteilten Optik |
| topic | Jenoptik Carl Zeiss Jena GmbH (DE-588)4067460-5 gnd Lithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4191584-7 gnd |
| topic_facet | Jenoptik Carl Zeiss Jena GmbH Lithografie Halbleitertechnologie |
| work_keys_str_mv | AT progerhansjurgen vonabbesstrichteilungenzurmikrolithografieeinhistorischerabrisszurgeteiltenoptik |