Mikrotechnisch hergestelltes Fluxgate-Magnetometer für die Winkelmessung:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2010
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| Schriftenreihe: | Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik
27 |
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| adam_text | INHALTSVERZEICHNIS 1 EINLEITUNG 1 2 GRUNDLAGEN DES MAGNETISMUS 5 2.1
FELDTHEORIE 5 2.2 MAGNETISCHE MATERIALIEN 9 2.2.1 ELEMENTARMAGNETE UND
MAGNETISIERUNG 9 2.2.2 FERROMAGNETISMUS 11 2.2.3 MAGNETISCHE ANISOTROPIE
IM FERROMAGNETEN 14 3 MAGNETFELDSENSOREN - STAND DER TECHNIK 17 3.1
UEBERBLICK UEBER MAGNETFELDSENSOREN UND IHRE KENNGROESSEN 17 3.2
MAGNETFELDSENSOREN FUER DIE WINKELMESSUNG 20 3.2.1 HALL-SENSOREN 21 3.2.2
MAGNETORESISTIVE SENSOREN 23 3.3 FLUXGATE-MAGNETOMETER 26 3.3.1
FUNKTIONSWEISE UND MARKTUEBERSICHT 27 3.3.2 MINIATURISIERUNG 32 4 ENTWURF
UND REALISIERUNG DES FLUXGATES 35 4.1 KONZEPT UND DESIGN 35 I
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN HTTP://D-NB.INFO/1004290489 DIGITALISIERT
DURCH E SCHALTPLAENE 109 INHALTSVERZEICHNIS 4.2 TECHNOLOGIEN ZUR
HERSTELLUNG DES FLUXGATES 37 4.2.1 UV-TIEFENLITHOGRAFIE 40 4.2.2
MIKROGALVANIK 54 4.3 EIGENSCHAFTEN DES NICKEL-EISEN-KERNS 61 4.4
SPULENKONFIGURATIONEN 69 5 CHARAKTERISIERUNG DES FLUXGATE-WINKELSENSORS
71 5.1 ANREGUNGS-UND AUSWERTEELEKTRONIK 71 5.2 AUTOMATISIERTER PRUEFSTAND
77 5.3 KENNGROESSEN DES WINKELSENSORS 80 6 ANWENDUNG ALS POSITIONSSENSOR
IM PARALLELROBOTER 83 6.1 HEXALI-PARALLELROBOTER 83 6.2 INTEGRATION IN
DIE PASSIVEN ROBOTERGELENKE 85 7 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK. 87 8
LITERATURVERZEICHNIS 91 ANHANG A EIGENE VEROEFFENTLICHUNGEN 97 B
FORMELZEICHEN 99 C ABKUERZUNGEN 101 D PROZESSPLAN 103
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