Charakterisierung von Metall-Oxid-Halbleiter-Strukturen auf der Silicium- und Kohlenstoffseite von 4H-Siliciumcarbid:
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Aachen
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2010
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| Schriftenreihe: | Erlanger Berichte Mikroelektronik
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| adam_text | INHALTSVERZEICHNIS 1 EINLEITUNG 1 2 GRUNDLAGEN 5 2.1 KRISTALLSTRUKTUREN
VON SILICIUMCARBID 5 2.2 OXIDATIONSVERHALTEN VON SILICIUMCARBID 7 2.3
THEORETISCHE BESCHREIBUNG VON MOS-STRUKTUREN 10 2.3.1 IDEALE
MOS-KAPAZITAET 11 2.3.2 REALE MOS-KAPAZITAET 15 2.4 THEORETISCHE
GRUNDLAGEN DES MOSFETS 16 2.5 LEITUNGSMECHANISMEN IN SILICIUMDIOXID 19
2.5.1 BESCHREIBUNG DES STROMFLUSSES 19 2.5.2 SCHAEDIGUNG DES OXIDES DURCH
ELEKTRISCHE BELASTUNG 22 3 EXPERIMENTELLE VORGEHENSWEISE 25 3.1
PROBENHERSTELLUNG 25 3.1.1 AUSGANGSMATERIAL UND REINIGUNG 25 3.1.2
THERMISCHE OXIDATION 26 3.1.3 GATEOXIDABSCHEIDUNG 27 3.1.4
GATEABSCHEIDUNG UND -DOTIERUNG 27 3.1.5 PHOTOLITHOGRAPHIE UND
NASSCHEMISCHE STRUKTURIERUNG 28 3.2 SCHICHTDICKENBESTIMMUNG 28 3.3
ELEKTRISCHE MESSUNG 29 3.3.1 MESSUNGEN AN MOS-KAPAZITAETEN 29 3.3.1.1
STROM-SPANNUNGS-MESSUNG 29 3.3.1.2 ADMITTANZ-SPANNUNGS- UND
QUASISTATISCHE C-U-MESSUNG . 30 3.3.1.3 ZUVERLAESSIGKEITSMESSUNGEN 33
3.3.2 MESSUNGEN AN MOSFETS 36 4 ERGEBNISSE UND DISKUSSION 39 4.1
OXIDATIONSVERHALTEN AUF DER SI-UND C-SEITE 39 4.1.1 TROCKEN- UND
FEUCHTOXIDATION 40 4.1.2 OXIDATION IN LACHGAS 43 4.2 ELEKTRISCHE
EIGENSCHAFTEN 46 4.2.1 EINFLUSS DER OXIDATIONSTEMPERATUR 46 4.2.2
EINFLUSS DER OXIDATIONSATMOSPHAERE 52 4.2.3 VARIANTEN DER
LACHGAS-OXIDATION 57 4.2.4 THERMISCHE OXIDE AUF DER C-SEITE 63 4.2.
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN HTTP://D-NB.INFO/100743645X DIGITALISIERT
DURCH VI INHALTSVERZEICHNIS 4.3 LANGZEITSTABILITAET DER HERGESTELLTEN
GATEOXIDE 76 4.3.1 MESSUNGEN AUF DER SILICIUMSEITE 76 4.3.1.1 VERGLEICH
DER UNTERSCHIEDLICHEN OXIDATIONSTEMPERATUREN . 76 4.3.1.2 VERGLEICH DER
VERSCHIEDENEN OXIDATIONSATMOSPHAEREN . . . . 79 4.3.1.3 VERGLEICH DER
VERSCHIEDENEN OXIDATIONSVARIANTEN IN STICK- OXIDHALTIGER ATMOSPHAERE 81
4.3.1.4 VERGLEICH DER ABGESCHIEDENEN OXIDE 83 4.3.2 MESSUNGEN AUF DER
KOHLENSTOFFSEITE 86 4.4 ZWISCHENFAZIT 88 4.5 TRANSISTORCHARAKTERISIERUNG
90 5 ZUSAMMENFASSUNG UND WERTUNG 93 6 LITERATURVERZEICHNIS 99
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