Fehlermechanismen und Prüfverfahren miniaturisierter Lötverbindungen: Ergebnisbericht des BMBF-Verbundprojekts "Zerstörende und zerstörungsfreie Prüftechnik für die Charakterisierung von nanoskaligen Alterungsmechanismen an hochminiaturisierten Lötverbindungen"
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
|---|---|
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Templin
Detert
2009
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | System integration in electronic packaging
9 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Literaturverz. S. 357 - 359 |
| Beschreibung: | X, 364 S. Ill., graph. Darst. 21 cm |
| ISBN: | 9783934142343 |
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VII
GLIEDERUNG
1 EINLEITUNG 1
2 MOTIVATION 5
3 ZIELSETZUNG 9
4 STRUKTUREN DER AUFBAU- UND VERBINDUNGSTECHNIK HINSICHTLICH
NANOSKALIGER MERKMALE 13
4.1 KLASSIFIKATION VON GRUNDLEGENDEN VERBINDUNGSKONFIGURATIONEN 13 4.2
KATALOGISIERUNG DER MERKMALE UND WICHTUNG 17
4.3 STAND DER ZERSTOERUNGSFREIEN UND ZERSTOERENDEN PRUEFTECHNIK ZUR
BESCHREIBUNG DER MERKMALSAUSPRAEGUNGEN 23
5 ERARBEITUNG VON AKZEPTANZKRITERIEN FUER ALTERUNGSPHAENOMENE 27
5.1 NEUE ALTERUNGSPHAENOMENE AN MINIATURISIERTEN LOETVERBINDUNGEN 27 5.2
ALTERUNG DURCH MATERIALTRANSPORTPHAENOMENE, INSBESONDERE ELEKTROMIGRATION
37
5.2.1 VORBETRACHTUNGEN 37
5.2.2 ABLEITUNG EXPERIMENTELLER ARBEITEN 42
5.2.3 GESTALTUNG DER PRUEFLINGE UND DESIGN DES TESTSTANDS 43 5.2.4
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG UND AUSWERTUNG 45
5.2.5 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK DER IM PROJEKT NANOPAL REALISIERTEN
ELEKTROMIGRATIONSVERSUCHE 84
6 ZERSTOERUNGSFREIE PRUEFUNG NANOSKALIGER MERKMALE 87
6.1 EVALUIERUNG AUSGEWAEHLTER KOMMERZIELL VERFUEGBARER ZFP-VERFAHREN
HINSICHTLICH IHRER AUFLOESUNGSGRENZEN 87
6.1.1 DIE REFERENZOBJEKTE 87
6.1.2 DIE VERFAHRENSMATRIX 91
6.1.3 ERSTES FAZIT AUS DER UNTERSUCHUNG DER REFERENZOBJEKTE 99 6.1.4
SPIEGELUNG DER ERGEBNISSE AN DEN TESTBOARDS TB1 BIS TB3 101 6.2
AUSGEWAEHLTE VERFAHREN UND DEREN WEITERENTWICKLUNG 114
6.2.1 ULTRASCHALL-ANALYTIK 114
6.2.2 ATOMIC FORCE ACOUSTIC MICROSCOPY (AFAM) 134
6.2.3 ROENTGENTECHNIK 148
6.3 GRENZEN DER MESSBARKEIT NANOSKALIGER MERKMALE MIT ZERSTOERUNGSFREIER
PRUEFTECHNIK 184
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN HTTP://D-NB.INFO/997575700
DIGITALISIERT DURCH
IMAGE 2
VILI
MULTIFUNKTIONSSCHERTESTER FUER DIE AUTOMATISIERTE BESTIMMUNG DER
MECHANISCHEN FESTIGKEIT VON MINIATURISIERTEN BAUGRUPPEN 189 7.1
EINLEITUNG, GRUNDGEDANKE UND *GLOBALE ZIELSETZUNG DES
MULTIFUNKTIONSTESTERS 189
7.2 NOTWENDIGE ANPASSUNGEN DES MULTIFUNKTIONSSCHERTESTERS 195 7.2.1
ERWEITERUNG DURCH ADAPTION EINES AOI MODULS 199
7.2.2 NUTZUNG DER DIGITALEN BILDKORRELATION (UNIDAC VERFAHREN) 201
ENTWICKLUNG EINES OPTISCHEN VERFAHRENS ZUR NANOMETERGENAUEN
POSITIONIERUNG AUF DER BASIS DIGITALER BILDVERARBEITUNG 203
8.1 ZIEL DER ENTWICKLUNG 203
8.2 EXPERIMENTELLE VORBETRACHTUNGEN 204
8.2.1 SCHLIFFBILDANALYSEN VON BAUELEMENTEN 204
8.2.2 DURCHFUEHRUNG VON SCHERTESTS ZUR ERMITTLUNG RELEVANTER
EINFLUSSGROESSEN 204
8.3 BESTIMMUNG DER BAUELEMENTPOSITION ZUR REALISIERUNG EINES
BERUEHRUNGSLOSEN TOUCH-DOWNS BEIM MULTIFUNKTIONSSCHERTESTER 206 8.3.1
DARSTELLUNG DES PRINZIPS 206
8.3.2 IMPLEMENTIERUNG DER PROFILMESSUNG IN DIE SCHERTESTERSOFTWARE 212
8.4 BESTIMMUNG DER BAUELEMENTEVERSCHIEBUNG BEIM KRIECHTESTER 214 8.4.1
PRINZIP DER BILDKORRELATIONSGESTUETZTEN MESSUNG DER VERSCHIEBUNG 214
8.4.2 IMPLEMENTIERUNG DES VERFAHRENS IN DIE HARD- UND SOFTWARE 215
ENTWICKLUNG EINES AOI-MODULS FUER SCHERTESTER 221
9.1 ZIEL DER ENTWICKLUNG 221
9.1.1 ALLGEMEINE ANFORDERUNGEN 221
9.1.2 TECHNISCHE SPEZIFIKATION 222
9.2 OPTISCHES GRUNDKONZEPT 222
9.3 BELEUCHTUNG DES AOI-MODULS 223
9.4 KAMERAMODUL 224
9.5 MECHANIK DES AOI-MODULS 225
9.6 PC FUER DAS AOI-MODUL 226
9.7 KOMMUNIKATION SCHERTESTER - AOI-MODUL 226
9.8 LEITERPLATTENHALTERUNG(WORKHOLDER) 228
9.9 SOFTWARE *OPTICONCONDOR 228
9.9.1 ALLGEMEINES 228
9.9.2 BENUTZEROBERFLAECHE 228
9.9.3 OBJEKTE 230
9.9.4 PROGRAMMERSTELLUNG 233
9.9.5 PROGRAMMAUSFUEHRUNG 235
9.9.6 BERUEHRUNGSLOSE HOEHENMESSUNG 236
IMAGE 3
IX
9.9.7 UMWELTBEDINGUNGEN 237
9.9.8 NORMEN / VORSCHRIFTEN / ZEICHNUNGSSATZ 237
9.9.9 ENTWICKLUNG / FERTIGUNG / MONTAGE / INBETRIEBNAHME 237
10 ENTWICKLUNG EINES KRIECHTESTERS ZUR BESTIMMUNG VON KRIECHGESETZEN
MINIATURISIERTER VERBINDUNGSSTRUKTUREN 239 10.1 ANFORDERUNGSPROFIL 239
10.2 ERARBEITUNG UND UMSETZUNG EINES KONZEPTES 239
10.2.1 KONSTRUKTION / STEIFIGKEIT DER MASCHINE 240
10.2.2 AUFBAU EINES PROTOTYPEN 241
10.2.3 ANORDNUNG DER WEG- UND KRAFT-MESSEINRICHTUNGEN 243 10.3
ENTWICKLUNG UND AUSLEGUNG DER BETRIEBSSOFTWARE 244
10.4 TESTMESSUNGEN 247
10.4.1 DURCHFUEHRUNG VON TESTMESSUNGEN 247
10.4.2 BEWERTUNG DES MULTIFUNKTIONSTESTERS 250
10.5 INTEGRATION DES KAMERASYSTEMS ZUR GRAUWERTKORRELATION AM
KRIECHTESTER 251
10.6 AUSBLICK 251
11 NACHSTELLUNG VON SCHER- UND KRIECHVERSUCHEN DURCH SIMULATION AM
BEISPIEL VON ZWEIPOLEM 253
11.1 ERMITTLUNG DER QUALITATIVEN HAUPTEINFLUSSFAKTOREN AUF DIE
RESULTIERENDE SCHERKRAFT BEI SCHER- BZW. KRIECHVERSUCHEN AN
SMD-BAUELEMENTEN 253 11.1.1 SCHER-UND KRIECHVERSUCH 253
11.1.2 FE-MODELLIERUNG DES SCHERTESTS 254
11.1.3 QUALITATIVE HAUPTEINFLUSSFAKTOREN AUF DIE RESULTIERENDE MAXIMALE
SCHERKRAFT 256
11.2 ABGLEICH DER SIMULATION ZU REALEN SCHER- BZW. KRIECHVERSUCHEN 258
11.2.1 BAUELEMENTVERKIPPUNG 258
11.2.2 LOTPOREN 259
11.2.3 GRENZFLAECHENEIGENSCHAFTEN 262
11.3 EMPFEHLUNGEN ZUR FESTLEGUNG VON RANDBEDINGUNGEN FUER SCHER- BZW.
KRIECHTESTS 263
11.4 VERGLEICH THEORETISCHER ERGEBNISSE ZUM KRIECHVERSUCH IN
ABHAENGIGKEIT VON DEN VERWENDETEN LOTKRIECHEIGENSCHAFTEN 263 11.4.1
DEFINITION VON LOTEIGENSCHAFTEN UND BEANSPRUCHUNGSBEREICH IM
THERMOZYKLUS 264
11.4.2 VERGLEICH VON KRIECHVERSUCHEN IN EXPERIMENT UND THEORIE 265
12 ZIELSETZUNGEN UND REALISIERTE ERGEBNISSE ZUR ZERSTOERENDEN PRUEFTECHNIK
269
12.1 DEMONSTRATORAUFBAU 271
12.1.1 ENTWURF VON DEMONSTRATOREN MIT UNTERSCHIEDLICHEM
MINIATURISIERUNGSGRAD 271
12.1.2 AUFBAU DES DEMONSTRATORS TB2Z.2 272
IMAGE 4
12.1.3 BESCHREIBUNG DER LOETVERBINDUNGEN NACH FERTIGUNG 277
12.1.4 WINKELVERMESSUNG 280
12.1.5 ALTERUNG DES DEMONSTRATORS TB2Z.2 282
12.2 EXPERIMENTELLE UNTERSUCHUNGEN 283
12.2.1 EINFLUSS DES WINKELVERSATZES VON SMD-BAUEIEMENTEN 284 12.2.2
EINFLUSS DES VOIDGEHALTES 293
12.2.3 EINFLUSS DER ALTERUNG 295
12.2.4 ABGLEICH DER SCHERERGEBNISSE MIT DER SIMULATION 311 12.2.5
EXPERIMENTELLE DURCHFUEHRUNG VON KRIECHVERSUCHEN 311 12.3 ZUSAMMENFASSUNG
324
13 EVALUIERUNG DER ZERSTOERENDEN PRUEFTECHNIK 327
13.1 MULTIFUNKTIONSSCHERTESTER MIT INTEGRIERTEM AOI-MODUL 328
13.1.1 ALLGEMEINE BESCHREIBUNG 328
13.1.2 TESTOBJEKTE 329
13.1.3 REPRODUZIERBARE ERKENNBARKEIT VON BAUTEILEN MITTELS AOI- MODUL
333
13.1.4 WINKELGENAUIGKEIT UND REPRODUZIERBARKEIT DER WINKELERKENNUNG 338
13.1.5 SCHERTESTER MIT INTEGRIERTEM AOI-MODUL 342
13.1.6 ZUSAMMENFASSUNG 342
13.2 PRAEZISIONSKRIECHTESTER 343
13.2.1 ALLGEMEINE BESCHREIBUNG 343
13.2.2 TESTOBJEKTE 344
13.2.3 BEWERTUNG DER PILOTANLAGEN 344
13.2.4 ZUSAMMENFASSUNG 347
14 ZUSAMMENFASSUNG 349
15 AUSBLICK 355
LITERATURVERZEICHNIS 357
AUTORENVERZEICHNIS 361
KONSORTIUM DES PROJEKTES *NANOPAL 363
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| spelling | Fehlermechanismen und Prüfverfahren miniaturisierter Lötverbindungen Ergebnisbericht des BMBF-Verbundprojekts "Zerstörende und zerstörungsfreie Prüftechnik für die Charakterisierung von nanoskaligen Alterungsmechanismen an hochminiaturisierten Lötverbindungen" 1. Aufl. Templin Detert 2009 X, 364 S. Ill., graph. Darst. 21 cm txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier System integration in electronic packaging 9 Literaturverz. S. 357 - 359 Lötverbindung (DE-588)4195776-3 gnd rswk-swf Lebensdauer (DE-588)4034837-4 gnd rswk-swf Alterung (DE-588)4142063-9 gnd rswk-swf Miniaturisierung (DE-588)4406753-7 gnd rswk-swf Elektronische Baugruppe (DE-588)4014350-8 gnd rswk-swf Werkstoffprüfung (DE-588)4037934-6 gnd rswk-swf Elektronische Baugruppe (DE-588)4014350-8 s Miniaturisierung (DE-588)4406753-7 s Lötverbindung (DE-588)4195776-3 s Alterung (DE-588)4142063-9 s Werkstoffprüfung (DE-588)4037934-6 s Lebensdauer (DE-588)4034837-4 s DE-604 Deutschland Bundesministerium für Bildung und Forschung Sonstige (DE-588)5309538-8 oth System integration in electronic packaging 9 (DE-604)BV035217133 9 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=020427435&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
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