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Leach, R. K. (2010). Fundamental principles of engineering nanometrology (1. ed.). Elsevier.

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Leach, Richard K. Fundamental Principles of Engineering Nanometrology. 1. ed. Amsterdam [u.a.]: Elsevier, 2010.

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Leach, Richard K. Fundamental Principles of Engineering Nanometrology. 1. ed. Elsevier, 2010.