Multi-Wafer Rotating MEMS Machines: Turbines, Generators, and Engines
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Lang, Jeffrey (HerausgeberIn)
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Berlin Springer US 2009
Berlin Springer Netherland
Ausgabe:1. Ed.
Schriftenreihe:MEMS Reference Shelf
Online-Zugang:BTU01
FHN01
FHR01
Volltext
Beschreibung:1 Online-Ressource (600 S.)
ISBN:9780387777474
DOI:10.1007/978-0-387-77747-4

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